X射线LIGA微加工技术介绍

高纵横比和精度可以远低于1µm。

  • 产地: 德国
  • 型号:
  • 品牌: Microworks

X射线深度光刻微加工技术:LIGA


LIGA 是德文的制版术Lithographie,电铸成形Galvanoformung 和注塑Abformung 的缩写。自20世纪80年代德国卡尔斯鲁厄原子核研究所为制造微喷嘴创立LIGA技术以来,对其感兴趣的国家日益增多,德、日、美相继投入巨资进行开发研究。该技术被认为是最有前途的三维微细加工方法,具有广阔的应用前景。与传统微细加工方法相比,用LIGA技术进行超微细加工有如下特点:


1.可制造有较大深宽比的微结构。

2.取材广泛,可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等。

3.可制作任意复杂图形结构,精度高。

4.可重复复制,符合工业上大批量生产要求,成本低。



德国卡尔斯鲁厄Karlsruhe是LIGA技术的发源地,来自Karlsruhe技术研究所与microworks GmbH的定制化高纵横比微结构。LIGA工艺制造的微结构聚合物和金属零件在x射线光学领域有着广泛的应用,包括在在科研机构和工业领域,尤其在光栅法X相衬成像领域。


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Microworks

德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,能为广大科研用户提供高度定制化的透射光栅和高精度微结构方案,在光栅法相衬成像领域,具有很好的口碑。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器(选频滤波器)、微弹簧,RF等。

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产品特点:

  • 高纵横比(>100)金属或聚合物

  • 立角约90°的平行侧壁(1mm高的结构偏差~1μm

  • 侧壁光滑(表面粗糙度Ra 在10 nm范围)

  • 横向精度在数微米范围(数厘米距离下)

  • 通过双次曝光可得到多种侧壁角度


主要应用:

  • X射线光栅 (Au ,Ni)

  • X射线棱镜(SU-8)

  • X射线狭缝/针孔(Au)

  • X射线准直器 (Au)

  • 高级微结构零部件(Au)

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北京众星联恒科技有限公司德国 Microworks X射线光栅、微结构-Flyer.pdf

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