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    LIGA微结构

    • 品牌Microworks
    • 型号LIGA微结构
    • 产地德国

    公司介绍:德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其最高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近

    1. 基本信息
    2. 技术参数
    3. 应用案例
    4. 资料/文献

    公司介绍:

    德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其最高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器(选频滤波器)、微弹簧,RF等。

     

    产品介绍:

          X射线深度光刻微加工技术:LIGA

         来自Karlsruhe技术研究所与microworks GmbH的定制化高纵横比微结构

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    产品特点:

    •  高纵横比(>100)金属或聚合物

    •  立角约90°的平行侧壁(1mm高的结构偏差~1μm

    •  侧壁光滑(表面粗糙度Ra 在10 nm范围)

    •  横向精度在数微米范围(数厘米距离下)

    •  通过双次曝光可得到多种侧壁角度


    主要应用:

    • X射线光栅 (Au ,Ni)

    • X射线棱镜(SU-8)

    • X射线狭缝/针孔(Au)

    • X射线准直器 (Au)

    • 高级微结构零部件(Au)

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