特点：激光驱动等离子体的 EUV 光源、高光子通量、单色或宽带连续的EUV光输出、多种定制波长可选、无电极污染，产生碎屑少、小光源尺寸，高亮度。
1-20nm (60-1000eV) 光谱范围内的交钥匙辐射源。长期稳定的等离子源，维护成本低，通过软件控制进行直观操作。可选配聚焦装置和单色器。
紧凑型激光驱动等离子体 EUV 光源
1-20nm (60-1000eV) 光谱范围内的交钥匙辐射源。
长期稳定的等离子源，维护成本低，通过软件控制进行直观操作。
* 可选配聚焦装置和单色器。
高光子通量
单色或宽带连续的EUV光输出
多种定制波长可选
无电极污染，产生碎屑少
小光源尺寸，高亮度
类型 | 无碎屑激光驱动等离子体XUV源 | ||
气体靶材 | 氪气、氮气、氙气等多种气体靶材可选 | ||
重复率 | 20Hz | ||
源功率稳定性 | ±1.5% | ||
波长范围 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多种波长可选 | ||
发散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等级 | 1 | ||
占地面积 | 1m x 1m | ||
氪气 | 氮气 | 氙气 | |
能量范围 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
输出功率（2pi发散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
EUV计量
掩模缺陷检测
抗蚀剂开发
极紫外显微
水窗显微
NEXAFS光谱
spec sheet HP - 众星联恒proLINE.pdf
德国HP Spectroscopy公司成立于2012年，致力于为全球科研及工业领域的客户定制最佳解决方案，是科学仪器的全球供应商和领先开发商。产品线包括XAS系统，XUV/VUV/X-ray光谱仪，beamline产品等。主要团队由x射线、光谱、光栅设计、等离子体物理、beamline等领域的专家组成。并与全球领先的研究机构的科学家维持紧密合作，关注前沿技术，保持产品的迭代与创新。
类型 | 无碎屑激光驱动等离子体XUV源 | ||
气体靶材 | 氪气、氮气、氙气等多种气体靶材可选 | ||
重复率 | 20Hz | ||
源功率稳定性 | ±1.5% | ||
波长范围 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多种波长可选 | ||
发散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等级 | 1 | ||
占地面积 | 1m x 1m | ||
氪气 | 氮气 | 氙气 | |
能量范围 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
输出功率（2pi发散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
应用
EUV计量
掩模缺陷检测
抗蚀剂开发
极紫外显微
水窗显微
NEXAFS光谱
spec sheet HP - 众星联恒proLINE - 中文.pdf
