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XUV/极紫外透射光栅
XUV/极紫外透射光栅用于光谱分散与测量,配套透射光栅光谱仪及实验光路,提供光栅周期、有效面积和结构配置资料。
EUV/XUV/SXR 光学元件
XUV/极紫外透射光栅
技术:极紫外光刻、X射线成像、谱学
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