光束截补器 beamstop

基于成熟的LIGA技术,Microworks公司的光束截补器beamstop具有多功能、性价比高且性能优越等特点。用于1000nm到0.01nm波段(1eV到100keV)

  • 产地: 德国
  • 型号: beamstop
  • 品牌: microworks

用于1000nm到0.01nm波段(1eV到100keV)


由于特征尺寸可低至微米量级, X射线光刻技术已经成为一种极富吸引力的制造方法。来自德国的Microworks公司是推动LIGA技术发展的市场领导者, 可为客户提供最高质晕和最高精度且价格合理的高精度微结构。


基于成熟的LIGA技术,Microworks的光束截补器(beamstops)具有多功能、性价比高且性能优越等特点。用于波带片成像,beamstop尺寸从10μm到160μm。自支撑结构,由3个薄鳍边承载圆柱形光束截补器。


吸收材料金厚度

>80µm

Beamstop尺寸

10 µm to 160 µm,间隔10 µm

开口尺寸

650 µm

载体薄膜

自支撑结构,每个圆柱体由3个宽2.5µm的薄鳍支撑。

总尺寸

4.5mm*4.5mm

安装建议

光束截止器非常稳定,可以使用简单支架夹持



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吸收材料金厚度

>80µm

Beamstop尺寸

10 µm to 160 µm,间隔10 µm

开口尺寸

650 µm

载体薄膜

自支撑结构,每个圆柱体由3个宽2.5µm的薄鳍支撑。

总尺寸

4.5mm*4.5mm

安装建议

光束截止器非常稳定,可以使用简单支架夹持




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