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多层膜反射镜与HHG极紫外光源的相辅相成（下）
点击蓝字，关注我们 德国 Jena Tower，象征着耶拿150多年的光学工业历史多层膜反射镜赋能EUV光谱调控与超快动力学研究 导 读利用聚焦飞秒激光与气体靶作用产生高次谐波（HHG），可输出宽谱、阿秒级脉冲，是一种相对简易的紧凑型、高空间相干极紫外光源的产生方法。该技术输出的光源能够在纳米级的空间尺度和阿秒级的时间尺度上探测和研究各类材料和物质，逐渐成为原子、分子、先进量子等材料研究以及
2025-11-24 unistar
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XUV多层膜反射镜与HHG极紫外光源的相辅相成（上）
点击蓝字，关注我们图一 德国 Jena Tower，象征着耶拿150多年的光学工业历史 导 读利用聚焦飞秒激光与气体靶作用产生高次谐波（HHG），可输出宽谱、阿秒级脉冲，是一种相对简易的紧凑型、高空间相干极紫外光源的产生方法。该技术输出的光源能够在纳米级的空间尺度和阿秒级的时间尺度上探测和研究各类材料和物质，逐渐成为原子、分子、先进量子等材料研究以及纳米成像的重要光源工具之一。特别是微观尺
2025-11-24 unistar
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您需要为您的EUV/SXR光路定制高精度反射镜吗？
点击蓝字关注我们引 言极紫外( Extreme Ultraviolet) 是处于真空紫外与软 X 射线之间，波长在几纳米至几十纳米的一个特殊波段，详见下图1。图1. 由红外线至硬x射线范围的电磁波谱由于在极紫外波段存在着大量的原子共振线，因此对于所有的固体，液体及气体都会对极紫外光有较强的吸收。入射光会在很短的距离被吸收，典型的吸收长度为百纳量级（100nm@水），所以无法制作像针对可见光一样的折
2025-05-13 unistar
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EUV多层膜元件的反射率表征：从微观到宏观的极致优化
点击蓝字 关注我们WINTER多层膜反射率表征背景介绍EUV多层膜元件是EUV光学系统的核心光学元件，通过周期性膜层结构设计可以在特定波长和入射角度条件下获得尽可能高的反射率。如图1是一片由德国optiX fab.制造的周期性Mo/Si多层膜反射镜在5°入射角条件下的反射率测试结果，对中心13.5nm波长的实测反射率可以达到65%以上，非常接近于理论光学极限。图1. Mo/Si多层膜反射镜在PTB
2025-04-07 unistar