13.5nm半透半反/分束镜

EUV 性能

波长: 13.5 nm

反射率: R ~ 30 %

透射率: T ~ 20 %

偏振: s-pol.

带宽 (FWHM): appr. 2 nm

入射角: 45 degrees

基底

分束器框架材料: Si (100)

尺寸: 12.5±0.25 mm x 12.5±0.25 mm

厚度: 525±20 μm

窗口尺寸: 8±0.15 mm x 8±0.15 mm

薄膜材料: Si3N4

薄膜厚度: ~ 100 nm

镀膜

多层膜设计: Mo/Si