13.5nm 极紫外多层膜镜片

1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜

1英寸、13.5nm多层膜反射镜,实测反射率高达70%、现货供应、可以提供反射率测试。

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EUV多层膜平面反射镜 AOI = 5 °EUV多层膜平面反射镜 AOI = 45 °EUV多层膜球面反射镜 AOI = 5 °
反射率
R>65% @13.5nmR>67% @13.5nmR>65% @13.5nm
镀膜材料Mo/SiMo/SiMo/Si
AOI
45°
Bandwidth (FWHM)appr. 500 pmappr. 950 pmappr. 500 pm
基底
fused silicafused silicafused silica
尺寸25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm
厚度6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm
面形精度
λ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nm
表面粗糙度σ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rms
曲率半径
--500 mm (± 1 %)


实测反射率

北京众星联恒科技有限公司

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主要应用:

  • 极紫外相干衍射成像

  • 极紫外显微成像


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