1/0.5英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜
1英寸、13.5nm多层膜反射镜，实测反射率高达70%、现货供应、可以提供反射率测试。
- 产地： 德国
- 型号： 现货/保证反射率/耐用、反射率不衰减
- 品牌： optiX fab
产品介绍
得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注，近10年的积累，对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术，至今已经给客户生产了近2万多片镜片，中大多数都是半导体工业的客户，如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切，我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG，激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用，针对中国市场联合推出的1/0.5英寸的高性能13.5nm多层膜镜片，并在中国办公室备有库存，以实现镜片的快速交付。我们不止提供多层膜镜子，我提供是有性能保证的，极具投入产出比的，下单即交付的多层膜镜片。
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性能参数
EUV多层膜平面反射镜 AOI = 5 ° | EUV多层膜平面反射镜 AOI = 45 ° | EUV多层膜球面反射镜 AOI = 5 ° | |
反射率 | Rs＞65% @13.5nm | Rs＞67% @13.5nm | Rs＞65% @13.5nm |
镀膜材料 | Mo/Si | Mo/Si | Mo/Si |
AOI | 5° | 45° | 5° |
Bandwidth (FWHM) | appr. 500 pm | appr. 950 pm | appr. 500 pm |
基底 | fused silica | fused silica | fused silica |
尺寸 | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm |
厚度 | 6.35 ±0.25 mm | 6.35 ±0.25 mm | 6.35 ±0.25 mm |
面形精度 | λ/20 @ 632.8 nm PV | λ/20 @ 632.8 nm PV | λ/20 @ 632.8 nm PV |
表面粗糙度 | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms |
曲率半径 | - | - | 500 mm (± 1 %) |
实测反射率
主要应用
极紫外相干衍射成像
极紫外显微成像
极紫外光电子能谱
极紫外掩膜版检测
极紫外微曝光系统
极紫外天文观测
定制选项
中心波长
带宽(窄带、宽带)
入射角
横向、深度梯度镀膜
各种基底面型及材料
产品手册
1及0.5英寸13.5nm极紫外多层膜反射镜-产品手册-众星联恒-2025-7-22.pdf