极紫外/13.5nm菲涅尔波带片

衬度材料：SiO2 衬度材料厚度：~250nm支撑薄膜材料：Si支撑薄膜厚度：~200nm支撑薄膜透过率： 预计衍射效率>14% @13.5nm主要应用方向：相干衍射成像掩模版检测