激光驱动的等离子极紫外光源通常是4Π发散的，为了尽量多的收集13.5nm in band光子，通过厂家需要足够大的收集立体角。我们可供大致700mm口径的Mo/Si多层膜收集。通过镜片可以承受极高的温度，对于被污染的收集镜子，我们可以提供翻新服务。
实测反射率曲线
高反
宽带
翻新前后反射率对比
更多详情，请联系我们。
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