13.5nm 极紫外多层膜镜片

13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜

超大尺寸、超高精度、耐高温、13.5nm多层膜收集镜子。实测反射率高达70%。

  • 产地:
  • 型号: 定制
  • 品牌: Top-Unistar

激光驱动的等离子极紫外光源通常是4Π发散的,为了尽量多的收集13.5nm in band光子,通过厂家需要足够大的收集立体角。我们可供大致700mm口径的Mo/Si多层膜收集。通过镜片可以承受极高的温度,对于被污染的收集镜子,我们可以提供翻新服务。


实测反射率曲线


高反

北京众星联恒科技有限公司



宽带

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翻新前后反射率对比


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