13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜

超大尺寸、超高精度、耐高温、13.5nm多层膜收集镜子。实测反射率高达70%。

  • 产地: 德国
  • 型号: 定制
  • 品牌: optiX fab

得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注,近10年的积累,对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生产了近2万片镜片,中大多数都是半导体工业的客户,如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切,我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG,激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用,针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片,并在中国办公室备有库存,以实现镜片的快速交付。


激光驱动的等离子极紫外光源通常是4Π发散的,为了尽量多的收集13.5nm in band光子,通常需要足够大的收集立体角。我们可供大致700mm口径的Mo/Si多层膜收集。通过镜片可以承受极高的温度,对于被污染的收集镜子,我们可以提供翻新服务。


实测反射率曲线


高反

北京众星联恒科技有限公司



宽带

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翻新前后反射率对比


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