13.5nm 极紫外多层膜镜片

13.5n 极紫外Schwarzschild物镜

EUV Schwarzschild镜-for 13.5nmMagnification: 21.34NA: 0.2Focal length: 26.95 mmDiffraction limited!λ= 13.5: 40 nmMechanical holder:Material: InvarOverall weight: 4.9 kg Pinhole array test s

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EUV Schwarzschild镜-for 13.5nm

Magnification: 21.34

NA: 0.2

Focal length: 26.95 mm

Diffraction limited!

λ= 13.5:            40 nm

北京众星联恒科技有限公司
Mechanical holder:

Material: Invar

Overall weight: 4.9 kg

北京众星联恒科技有限公司 北京众星联恒科技有限公司

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Pinhole array test structures in AR-P610, Resolution < 100 nm


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