产品介绍：
对于微曝光工具性能测试或缺陷检测技术（PTY等）能力验证，我们基于多年的经验和强大的高精度微纳结构加工及镀膜能力，我司可以提供多种类型极紫外（EUV）测试图案。
1） 基于纳米透射光栅类透射测试结构
2） 在极紫外多层膜上制作HSQ或金属吸收体微纳图案
3） 在作HSQ或金属吸收体微纳图案上沉积极紫外多层膜
如果您有任何疑问或需要探讨的，请联系众星联恒！
对于微曝光工具性能测试或缺陷检测技术（PTY等）能力验证，我们基于多年的经验和强大的高精度微纳结构加工及镀膜能力，我司可以提供多种类型极紫外（EUV）测试图案。
1） 基于纳米透射光栅类透射测试结构
2） 在极紫外多层膜上制作HSQ或金属吸收体微纳图案
3） 在作HSQ或金属吸收体微纳图案上沉积极紫外多层膜
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