3维EUV/SXR准直,聚焦全反镜

EUV/SXR准直,聚焦镜

MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件,有两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。

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产品特点:

光学面材料:Au,Ni,Mo,etc...

先进的复制技术

光谱范围:EUV(60-200eV)

            SXR(200-2000eV)

j镜片形态:椭球镜,抛物面镜,也可根据需求定制其他非球面镜

典型表层粗糙度:Ra≈0.3-2nm

典型尺寸:直径(D)5-250mm;长度(L)10-100mm



2.MFO

MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件,有两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。MFO一般由玻璃,硅或金属等薄片组装而成。

可根据客户要求定制多种形状(如龙虾眼,Kirkptrick-Baez等)

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产品特点:

光学面材料:Au,Ni,Mo,etc...

宽视场(max±60°)

薄片厚度:30μm-1mm

孔径:3x3mm-300x300mm

能量范围:50eV-10keV)

平面,椭圆,和一般非球面

玻璃、硅和金属

表层材料:Au, Ni, Mo, Pt, W...

1.基本参数

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Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirrorFigure2: Geometry of a parabolic mirror




      Type       L     D1   D2     Z1     Zd   Divergence

[mm][mm][mm][mm][mm][mrad]
RE_0850610.572100012
RE_0910056.67045300450
RE_10100781132450266090
RO_0016811.614145270X

Figure3: Parameters of standard mirrors


2.jpg22.jpg

Figure4: Ellipsoidal mirror,

Ni active surface, L=100mm

Figure4: Ellipsoidal mirror,

Au active surface, L=80mm


2.MFO     

北京众星联恒科技有限公司


北京众星联恒科技有限公司

激光等离子体源, Xe和Kr EUV辐射的聚焦强度分布。MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO椭圆K-B系统。


北京众星联恒科技有限公司Rigaku-EUV、SXR 准直聚焦镜 datasheet 2022.4.24.pdf

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