三维13.5nmEUV/SXR复制镜

极紫外13.5nm高效率收集,超大立体角

  • 产地: 捷克
  • 型号: 定制
  • 品牌: RITE

Ø 关于RITE

Rigaku Corporation 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE),配有多个专业的X射线实验室,作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。

随着EUV/XUV产业发展如火如荼,X射线各领域的研究也不断深入,RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累,除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外,RITE秉承着开放合作的理念,也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。

RITE实验室EUV Replicated Optic
北京众星联恒科技有限公司北京众星联恒科技有限公司

捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology),聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计,定制开发速度快,质量高,工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺,能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm,组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层,最常用的材料有NiAuMoRu


  • 超高表面精度和更低的表面粗糙度


平均粗糙度 Ra (nm)

均方根 RMS (nm)

10 μm × 10 μm

0.72

0.91

1 μm × 1 μm

0.27

0.34


Ru镀层的微观粗糙度:

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  • 面形误差精度

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使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm,抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm 

  • 更高的反射率

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对于光学复制技术的扩展,RITE可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)

多箔光学镜(Multi-Foil Optics, MFO)非常适合软X射线、EUV波段和大视场的应用,由两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。可根据客户要求快速定制开发多种形状1D2DMFO(如龙虾眼,Kirkptrick-Baez组等)。


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