真空紫外分光光度计——ultraLYZE VUV
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ultraLYZE VUV 真空紫外分光光度计
真空紫外光谱分析解决方案
1. 产品简介
ultraLYZE VUV 是一款高性能真空紫外（VUV）光谱测量系统，集透射与反射测量于一体，专为115–350 nm深紫外波段精密分析设计。采用全自动操作模式（turn-key），支持高真空（<10⁻⁶ mbar）环境或氮气吹扫，满足材料在极端条件下的光学特性表征需求，精度稳定优于0.3%，为科研与工业提供可靠数据支撑。
图1 ultraLYZE VUV
2. 典型应用领域
先进光学材料
VUV抗反射膜、氟化镁（MgF₂）/氟化钙（CaF₂）透镜的透射率与反射损耗分析。
半导体光刻技术
光刻胶在EUV/VUV波段的吸收特性与均匀性评估（支持193 nm/157 nm关键波长）。
空间科学与天文探测
空间望远镜镜面涂层在Lyman-α（121 nm）等波段的反射性能验证。
3. 核心结构与技术特点
模块 | 技术优势 |
VUV光源 | 氘灯光源， 实现115-350 nm连续波长发射 |
VUV单色器 | Seya-Namioka型光栅单色器， 选择光栅实现波长选择， 针对100-300 nm波长具有非常高的衍射效率 |
双光路探测 系统 | 角度可调PMT探测器 + 参考光路 实时校准，确保R/T测量精度<0.3% |
环境控制 系统 | 高真空（<10⁻⁶ mbar） 配置氮气吹扫功能，以消除氧气对VUV波长吸收及样品的表面污染 |
模块化扩展 | 偏振器：支持S/P偏振测量 测量光束聚焦：微区分析和样品mapping 样品传递系统：多样品切换 |
4. 关键规格参数
参数 | 指标 |
波长范围 | 115–350 nm |
测量模式 | 透射（T）、反射（R）（选配） |
测量精度 | R/T < 0.3% |
波长分辨率 | 优于0.1 nm |
真空环境 | <10⁻⁶ mbar ，配置N₂吹扫功能 |
探测器 | 参考光路PMT 透射模式PMT 反射模式PMT(选配) |
可扩展模块 | 偏振器、聚焦光学、样品传递系统 |
5. 为何选择 ultraLYZE VUV？
全波段覆盖
115 nm起测，突破常规紫外限制，直达深紫外临界波段
工业级精度
双光路校准技术实现<0.3%超稳重复性，适用于质检场景
环境适应性
高真空/惰性气体双模式，应对VUV苛刻测量条件
模块化未来
按需升级偏振、微区、自动化功能，保护设备投资价值
适用场景
光学镀膜实验室、半导体光刻研发中心、空间载荷研制单位、新型能源材料评估平台
探索物质深紫外响应的终极工具
从基础研究到产线质检，
ultraLYZE VUV定义VUV光谱新标准！
文案：Yee
校对：Ω / β
编辑：Sylvia
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关于众星联恒
众星联恒致力于引进高端的EUV/SXR/X射线产品、及新孵化高新技术产品给中国的同步辐射，研究所，高校及高端制造业的客户，产品线包含X射线/EUV光源、X射线/SXR/EUV光学元件、X射线/SXR/EUV/可见光/电子探测器、VUV/XUV/X射线光谱仪、X射线分析系统和辉光放电质谱仪。
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