工欲善其事，必先利其器。德国optiX fab镀膜机 NESSY D 及Fab一览
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图1 德国 Jena Tower，象征着耶拿150多年的光学工业历史
在之前的文章《隐藏在德国Jena的小巨人：optiX fab.》中，我们介绍了德国optiX fab.公司25年的发展历程及其背后的核心掌舵人Torsten Feigl博士。
工欲善其事，必先利其器。对于超高精密、高质量极紫外光学镜片的生产，先进的镀膜机、膜层结构、反射率表征仪器和良好的实验室条件必不可少。本篇文章将着重为大家介绍德国先进制造商optiX fab.公司的相关情况。
德国optiX fab.公司的新办公室选址于德国Jena的Loftfabrik Otto Schott Str. 41，该工厂的历史可以追溯到1939年，前身是由德国卡尔蔡司Carl Zeiss公司建设并用于精密光学镜片制造技术员培训的工厂。
图2. 卡尔蔡司员工正在接受培训
翻修后的工厂风采依旧。2021年初，Torsten给众星联恒的同事说他到：“在实地考察时，当时还有其人员也在考察此场地，出于对公司未来快速发展的充分信心，即便当时一层的面积就能满足公司使用需求，我仍然直接租下了共计 2500m2 的上下两层楼。‘’
图3. optiXfab办公室及实验室所在建筑外部照片
经过一年多的建设，optiX fab.开始启用全新的办公室及实验室。并以视频形式展示了实验室装修及设备安装进程的三个阶段。
optix-fab-gmbh-construction - PART1.
optix-fab-gmbh-construction - PART2.
optix-fab-gmbh-construction - PART3.
optiX fab.新建成的镀膜实验室安装了4台EUV镀膜机- NESSY D，此系统可镀直径700mm的镜片。
图4. optiX fab新建成镀膜实验室
下图5展示了用于基底装载及镀膜后膜层检测、清洁及封装的洁净室，其中安装了数台Bruker衍射仪。
图5. optiXfab 测试洁净室（Marco Perske and Klara Stallhofer）
目前optiX fab.已经投入了约1500万欧元用于新实验室的建设，以满足逐年增长的EUV镜片需求。Torsten Feigl博士还提到计划新增两台EUV镀膜机- NESSY D并进一步扩充产能。
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截至2024年
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optiX fab. 已经总计给用户交付了超过26312片极紫外、X射线镜片。
平均每个工作日交付大约9片镜子。
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携手德国 optiX fab 公司，我们（众星联恒）针对中国市场联合推出 1 /1/2英寸的高性能 13.5nm 极紫外/EUV 多层膜镜片，并在中国办公室常备库存，以实现镜片的快速交付。让您不再苦苦等待镜片的交付，而无法及时开展实验。
众星联恒致力于引进高端的EUV/SXR/X射线产品、及新孵化高新技术产品给中国的同步辐射，研究所，高校及高端制造业的客户，产品线包含X射线/EUV光源、X射线/SXR/EUV光学元件、X射线/SXR/EUV/可见光/电子探测器、VUV/XUV/X射线光谱仪、X射线分析系统和辉光放电质谱仪。同时，我司还可满足同步辐射用户的薄膜、表面和原位表征及半导体计量的需求，提供定制化的工业在线X射线检测解决方案。
隐藏在德国Jena的小巨人：optiX fab.
内 容 凯文
编 辑 小乔
