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八面玲珑的X光探针:X射线显微成像术之缺陷辅助成像

2026-05-14 14:42:08 unistar








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图1 美国XOS多毛细管X光透镜横截面显微图,典型的开口区域约为80%,单个通道的尺寸低至亚微米


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引 言

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自1895年威廉·康拉德·伦琴(Wilhelm Conrad Röntgen)发现X射线以来,经过一个多世纪的发展,我们在对于X光产生、调制、探测和相应的分析法及算法都有长足的进步。八面玲珑的X光在天文、高能天体物理、科研工作中材料分析、工业生产中的质控和探伤、安检、医疗等领域都起着举足轻重的作用。涉及到的分析法包含X射线衍射、荧光、散射,吸收成像,相衬成像,光电子能谱仪和PTY成像等等。X射线同步辐射光源和FEL作为最先进的X射线源,提供了极高的亮度,支撑了尖端的科学研究和高端制造业的质量控制等,并为新型表征方法的开发创造了条件。


然而,同步辐射光源的成本高昂,且机时资源有限,难以普及使用。因此,科研和工业界根据各自的需求,开发了多种专用的实验室设备,例如医用CT、工业和科研级的微纳CT以及实验室X射线精细结构吸收谱仪(XAFS)。这一发展轨迹显示了从同步辐射到实验室设备的技术演变趋势。


X射线显微成像技术,由于具体三维、无损、透视成像的特点,被广泛的应用到材料结构表征,半导体制造缺陷检测,航空航天等领域等应用。在之前的文章《八面玲珑的X光探针:X射线显微成像术》中,我们介绍X射线显微成像的主要技术路线:投影几何放大技术和基于菲涅尔波带片的扫描透视显微技术、全场透视显微技术和CDI/PTY技术等,并详细基于空间几何放大的实验室X射线显微成像技术的研究进展。 今天我们给大家介绍一下基于空间几何放大的实验室X射线显微成像技术一些新思路。


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基于空间几何放大的实验室X射线

显微成像的巧思技术-缺陷辅助成像

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在之前的文章《八面玲珑的X光探针:X射线显微成像术》我们总结到基于空间几何放大的实验室X射线显微成像技术对于光源和探测器有极高的要求。在探测器方面目前基于光子计数、像素化X射线探测器(混合像素X射线探测器或混合光子计数X射线探测器)成为主流的选择。同时在医疗CT领域,搭载类似的探测器也成为趋势。接下来我们一起探索研究人员如何通过巧妙选用多毛细管X光透镜照明器件,并结合先进的算法来消除核心且昂贵的纳米X射线源的限制。


波兰雅盖隆大学的Pawel Korecki教授及其研究团队在2016年发表于PRL的文章《Defect-Assisted Hard-X-Ray Microscopy with Capillary Optics》中提出了一种缺陷辅助成像方法[1]——如下图2,利用多毛细管透镜内部天然存在的点缺陷作为高分辨率成像通道,对样品信息进行空间调制。探测器记录的是经过编码的强度分布,而非样品的直接像,随后通过解码重建获得高分辨率图像。编码孔成像的核心优势在于:能够突破多毛细管聚焦焦斑尺寸(通常极限为数个微米)对分辨率的限制,利用微通道的缺陷特征尺寸(缺失或者大毛细管)作为分辨率极限,结合低价格、低亮度的微焦源,实现了亚微米级成像,无需复杂昂贵的纳米射线源或高分辨透射耦合相机等。

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图2. (a)样品被放置在具有自然缺陷的多毛细管透镜焦点处,透射的X射线被二维阵列探测器检测;(b) 聚焦光斑的强度分布;(c)如果毛细血管透镜是完美的周期性排列,样品的信息会被涂抹,只有存在点缺陷才会打破周期性,导致样品形成多个X射线图像[4].


为了进一步验证该方法的可行性,研究人员选用一个50kV,1mA,40μm的微焦源,耦合多毛细管X光透镜,以获得约11.8微米的聚焦焦斑。并在金箔上用聚焦离子束(双束扫描电子显微镜/聚焦离子束 Quanta 3D FEG,FEI 公司)铣削了6.2μm×4.5μm的字母E,并放置于多毛细管的聚焦焦平面上。探测器选用了众星联恒合作伙伴捷克Advacam公司的Minipix Timepix混合光子计数X射线探测器,并放置于毛细管出光口后447mm处。通过编码孔径解码从缺陷形成的多个图像中重建样品结构,在无需额外物镜的条件下实现了约600 nm的空间分辨率- -如下图3,为了确定编码孔径成像方法的空间分辨率,研究人员计算了SPSF。SPSF被定义为点物体的重构图像(在这个的例子中近似为针孔)。

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图3. (c)缺陷辅助成像的系统点扩散函数(SPSF).(d) 沿(c)中标记线插值的 SPSF 曲线轮廓。带箭头的线:红色虚线曲线的半高全宽(0.50 ± 0.15 微米).虚线垂直线:蓝色实线曲线的第一个最小值位置(0.59 ± 0.15 微米). 插图:物体和 0.8 微米针孔的扫描电子显微镜图像.


为了改进缺陷辅助成像方法中存在的缺陷分布不可控、成像效率低、解码复杂等局限性,该团队又提出了多点投影成像方法[2]-相应成果于2018年发表于OPTICA,文章名称为《Multipoint-projection x-ray microscopy》

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图4.(a)多点投影成像方法概念示意图;(b)多路传播/多路分解概念;(c) 实验室用切割的多毛细管X光透镜和一个针孔掩模来实现多点投影成像;(d)针孔掩模的SEM图像;(e)多毛细管输入端面SEM图像;(f)多毛细管输出端面SEM图像[5].


该方法需要利用稀疏排列的毛细管阵列生成近千个亚微米级的次级X射线源,作为高分辨率成像通道。但是由于稀疏阵列弯曲多毛细管的制造是具有挑战性的,因此只能通过将单个多毛细管X光透镜(N≈3.3×105通道,f≈2.5 mm)切割成两段,并在中间放置针孔掩模,来实现多点投影成像,如上图4(c)所示。这里的“稀疏”是通过掩模实现的,仅允许与针孔对准的毛细管接收X射线。只要输出端毛细管间距大于单个投影在样品平面的照明区域直径,各投影在探测器上自然分离,无需解码。


如上图4(a)所示,该方法将样品置于多毛细管透镜的焦点处,通过多路传播/多路分解实现并行投影成像,无需任何物镜或解码步骤的条件下实现了约500 nm的空间分辨率,详见下图5。

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图5. 高吸收物体的多点投影 X 射线显微镜成像。(a)使用平均能量约为 9 千电子伏的 X 射线管获得的物体(在插图中显示的在金箔上用离子束铣削的单个字母 E)的近一千倍复制阴影投影;(b)使用 HPD 记录的更高分辨率图像。采集时间:180 秒;(c)在物体平面使用直径为 0.5 微米的针孔获得的次级源分布;(d)短(10 秒)采集时间下物体的多个投影,探测器每次像素仅有少量光子;(e)通过简单求和 n=18 类型 c1 次级源(如(c)所示)计算得到的总图像,其信噪比与(b)中的单个物体投影相似;(f)分辨率测试;不同宽度的钨狭缝图像。在所有图像中,几何放大倍数为 M ∼ 200,像素大小约为 300 纳米。


值得一提的是为了实现更清晰、更高分辨率的成像,研究人员采用了众星联恒合作伙伴捷克Advacam公司的小型混合像素X射线探测器(HPD)-MinipiX,这种探测器具有更高的分辨率和灵敏度。MinipiX是一种光子计数、像素化多功能辐射、粒子探测设备,每个像素内都带有可调节的判别器(能量阈值)。因此,它们没有读出噪声和暗噪声,非常适合用于获取本实验中的低水平信号-上图5(d)中在10s的采集时间下,探测器每次像素仅有少量光子。如果选用间接探测X射线相机,无法获的较好的信噪比。


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总结

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我们可以看到研究人员通过精密X射线微米光学调制元件的设计结合先进的算法,不断地拓宽X射线成像技术的边界。让成像的质量更高、更快且更易获取,以服务更多的应用场景。无独有偶,我们在之前的文章《文献解读|各向异性结构的X射线小角散射成像》介绍到,来及瑞士PSI的研究团队,设计了一个特殊的X射线衍射光学元件,在实验室实现了时间分辨的X射线散射成像技术,解锁了在厘米大小的区域上进行毫秒时间分辨率的时间分辨率研究的潜力。这项技术最酷的地方,在于它打破了速度与维度的矛盾——既保留了SAXS对纳米尺度结构的敏感,又实现了CT般的快速成像,还不用折腾样品转来转去。对于做CFRP复合材料、生物组织、3D打印的朋友们来说,这意味着:以后看微观结构,不再需要"转圈圈"等半天,一次曝光,材料骨子里的秘密就全暴露了。


同时,在上一周的文章《单掩模相衬成像技术助力微钙化分类及乳腺癌早期检测》中,来自美国休斯顿大学的Mini Das教授及其团队提出基于单掩膜的单发、暗场、相衬成像技术。通过特殊的掩膜设计和Advacam公司的WidePIX的混合光子计数X射线探测器的配合。可以在单次曝光中直接提去多种对比信号。得益于掩模像素对准技术和物理模型,该方法消除了对超精细探测器分辨率以及多次曝光的机械步进的需求,从而为临床和工业应用提供了快速,紧凑,低成本,低剂量和可重构的先进多对比度X射线成像路径。最新的研究成果- Single-shot, single-mask X-ray dark-field, and phase-contrast imaging于2025年底发表于知名期刊OPTICA。

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关于众星联恒 

众星联恒作为一家专业的极紫外、X射线核心部件及解决方案提供商,目前我们已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存,具备快速交付能力,以更好的服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室,配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器,可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。

我们是一群对于极紫外、X射线技术充满热情的团队,如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨,不要犹豫请直接联系我们。


参考文献

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1. Korecki P, Sowa K M, Jany B R, et al. Defect-assisted hard-x-ray microscopy with capillary optics. Physical Review Letters, 2016, 116(23): 233902.

2. Sowa K M, Jany B R, Korecki P. Multipoint-projection x-ray microscopy. Optica, 2018, 5(5): 577-582.

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内容:α·Lee&凯文

审核:凯文

排版:Sylvia

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