极紫外/X射线菲涅尔波带片

13.5nm菲涅尔波带片

衬度材料:SiO2 衬度材料厚度:~250nm支撑薄膜材料:Si支撑薄膜厚度:~200nm支撑薄膜透过率: 预计衍射效率>14% @13.5nm主要应用方向:相干衍射成像掩模版检测

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衬度材料:SiO2 

衬度材料厚度:~250nm

支撑薄膜材料:Si

支撑薄膜厚度:~200nm

支撑薄膜透过率:~70%


预计衍射效率>14% @13.5nm



主要应用方向:


  • 相干衍射成像

  • 掩模版检测

  • EUV显微成像

  • 角分辨光电子能谱



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