TEUS-LPP 紧凑型激光驱动等离子体极紫外光源基于快速旋转液态金属靶，这种新型LPP靶结合了传统的碎片减缓技术，是清洁极紫外光源的最佳解决方案。基于其亮度高、洁净、能量抖动小等特点，非常适合大规模生产中基于 EUV 显微的掩模版检测等需要高亮度 EUV 光源的应用场景，或者小规模光刻生产与实验等应用方向。经过数台 TEUS 的交付，已经验证该光源的性能及稳定性。
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特征优势
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高速转速：液滴的重定向
高转速允许初始速度与目标线速度相当的液滴的角速度分布发生剧烈变化
（受授权版专利保护的关键要素、一般原理和技术）
高旋转速度导致的液滴减缓效果的演示
规格参数
| 型号 | EUV收集角（sr） | 激光平均功率（W） | 脉宽（ns） | 重频（kHz） | 等离子体尺寸*（μm） | 亮度（W/mm2sr） | EUV功率（mW） | 收集镜** 寿命 |
| TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | ≤60 | 110 | 5 | >1年 |
| TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | >半年 | |||
| TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 | >半年 |
* : 定义为等离子强度分部1/e2的直径
**：收集镜为系统选配
典型应用
掩膜及表面检测
图形化掩膜检测(PMI)
掩膜空间像检测(AIMS)
空白掩膜版检测(MBI)
材料科学
晶圆检测
极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测
使用环境要求
| 型号 | 供电功耗 | 尺寸（长x宽x高） | 重量（含激光部件） | 洁净间级别 | 水流速 |
| TEUS-S100 | 6.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 10 L/min |
| TEUS-S200 | 8.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 15 L/min |
| TEUS-S400 | 10.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 25 L/min |
资料文献
| EUV收集角（sr） | 激光平均功率（W） | 脉宽（ns） | 重频（kHz） | 等离子体尺寸（μm） | 亮度（W/mm2sr） | EUV功率（mW） | 收集器寿命 | |
| TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | 60 | 110 | 5 | >1年 |
| TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | >半年 | |||
| TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 | >半年 |
典型应用
掩膜及表面检测
图形化掩膜检测
掩膜空间像检测
材料科学
晶圆检测
极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测