激光驱动EUV光源

激光驱动EUV光源

TEUS-LPP EUV光源基于快速旋转液态金属靶,这种新型LPP靶结合了传统的碎片减缓技术,是清洁极紫外光源的最佳解决方案。

  • 产地:
  • 型号: TEUS-S100、TEUS-S200、TEUS-S400
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TEUS-LPP EUV光源基于快速旋转液态金属靶,这种新型LPP靶结合了传统的碎片减缓技术,是清洁极紫外光源的最佳解决方案。


特征优势




  • 将液滴碎片重定向远离输入(激光)和输出(EUV)窗口

  • 用于高重复率激光系统(高达1Mhz)的不受干扰的靶材表面

  • 由于靶材是连续的,所需的同步最小

  • 优秀的空间稳定性

北京众星联恒科技有限公司

高速转速:液滴的重定向

北京众星联恒科技有限公司

高转速允许初始速度与目标线速度相当的液滴的角速度分布发生剧烈变化(受授权版专利保护的关键要素、一般原理和技术)

北京众星联恒科技有限公司

高旋转速度导致的液滴减缓效果的演示


EUV收集角(sr)激光平均功率(W)脉宽(ns)重频(kHz)等离子体尺寸(μm)亮度(W/mm2sr)EUV功率(mW)收集器寿命
TEUS-S1000.05
1001.5
2560
1105>1年
TEUS-S2002005022010>半年
TEUS-S40040010045020>半年


北京众星联恒科技有限公司EUV_source_specs_SE3-datasheet.pdf


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