XUV透射光栅

XUV透射光栅

公司介绍:NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广

  • 产地: 日本
  • 型号:
  • 品牌: NTT-AT

公司介绍:

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍:

定制透射光栅,可用于光谱仪,光束轮廓监测和分束。

Ta/SiN双涂层或SiN单涂层自支撑光栅,具有侧壁粗糙度低,清晰度高等特点,非常适用于XUV衍射实验

北京众星联恒科技有限公司

北京众星联恒科技有限公司

基本参数:


Ta/SiN type

SiN type

光栅区域

2 × 2 mm

 

刻线数

 

100 – 1200 lines/mm

 

支撑条

 

500 nm width, 50 μm pitch

材料

Ta (100 nm) and SiN (100 nm)

SiN (100 nm)

 

框架

 

10 × 10 × 0.625 mm Si


北京众星联恒科技有限公司NTT-AT_XUV透射光栅 datasheet 2020.7.16.pdf


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