XUV掠入射反射镜

XUV掠入射反射镜

公司介绍:NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广

  • 产地: 日本
  • 型号:
  • 品牌: NTT-AT

公司介绍:

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍:

掠入射反射镜可用于高能X射线和宽带XUV光源的转向和聚焦。定制化椭球反射镜和超环面反射镜可用于阿秒光谱成像以及其他XUV应用。掠入射多层膜反射镜可用于X射线单色仪。




典型参数:

  • 材料:Fused Silica, Low Expansion Glass

             椭球面, 超环面, 柱面, 平面

  • 粗糙度:<0.5nm rms

  • 最大尺寸:  Flat: 1000 mm ;Curved: 300 mm


镀膜示例(AOI=85 deg.):


北京众星联恒科技有限公司

北京众星联恒科技有限公司NTT-AT_XUV掠入射反射镜 datasheet 2020.7.16.pdf


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