X射线菲涅耳波带片

在X射线显微成像研究领域中，成像方法和手段被细分为了很多的子类。目前主流的X射线显微成像方法主要有：全场透视显微（TXM）、扫描透视显微（STXM）、相干衍射成像（X-ray CDI）等。

一般而言，前端照明光通常采用毛细管、椭球镜、菲涅尔波带片（FZP）、负折射镜等聚焦光学组件来获得照明微束，而后端光学器件则根据不同的实验目的来选取，主要有FZP、相移环、光栅等。在众多的光学组件中， FZP是为数不多的，可同时用于聚焦和成像用途的光学器件。对于20-30nm极高空间分辨要求的应用而言，需要FZP的最外环宽度达到20-30nm尺度，同时保证一定的厚度，即对FZP的“深宽比”提出了很高的要求。

得益于在微纳、精密加工方面多年的技术积累，我们目前可以向广大科研用户提供各种规格的FZP产品及定制服务。

产品特点

-      高纵横比菲涅耳波带片

-        在宽带范围(50 eV – 20 keV)衍射效率高

-        灵活的材料选择(Au, Ni, Si, SiO₂, Ir, Cr, Diamond)

-        实际分辨率世界记录@基于Ir-line-doubling技术 @ Ir

加工能力

加工示例：

                       25nm最外环宽度、550nm高的Ir 的菲涅尔波带片                                         世界记录分辨率：7nm

左图和中图是用于数KeV射线的50nm最外环宽度、500nm高吸收材料的电镀金波带片。右图是用于软X射线的25nm最外环环宽度的Ni波带片

200微米直径，200nm有效最外环宽度的三级镍波带片，闪耀结构拥有极高效率