X射线菲涅尔波带片(消色差)

X射线菲涅耳波带片(消色差)

在X射线显微成像研究领域中,成像方法和手段被细分为了很多的子类。目前主流的X射线显微成像方法主要有:全场透视显微(TXM)、扫描透视显微(STXM)、相干衍射成像(X-ray CDI)等。一般而言,前端照明光通常采用毛细管、椭球镜、菲涅尔波带片(FZP)、负折射镜等聚焦光学组件来获得照明微束,而后端光学器件则根据不同的实验目的来选取,主要有FZP、相移环、光栅等。在众多的光学组件中, FZP是为数

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在X射线显微成像研究领域中,成像方法和手段被细分为了很多的子类。目前主流的X射线显微成像方法主要有:全场透视显微(TXM)、扫描透视显微(STXM)、相干衍射成像(X-ray CDI)等

一般而言,前端照明光通常采用毛细管、椭球镜、菲涅尔波带片(FZP)、负折射镜等聚焦光学组件来获得照明微束,而后端光学器件则根据不同的实验目的来选取,主要有FZP、相移环、光栅等。在众多的光学组件中, FZP是为数不多的,可同时用于聚焦和成像用途的光学器件。对于20-30nm极高空间分辨要求的应用而言,需要FZP的最外环宽度达到20-30nm尺度,同时保证一定的厚度,即对FZP的“深宽比”提出了很高的要求。

得益于在微纳、精密加工方面多年的技术积累,我们目前可以向广大科研用户提供各种规格的FZP产品及定制服务。


产品特点


-      高纵横比菲涅耳波带片

-        在宽带范围(50 eV – 20 keV)衍射效率高

-        灵活的材料选择(Au, Ni, Si, SiO2, Ir, Cr, Diamond)

-        实际分辨率世界记录@基于Ir-line-doubling技术 @ Ir


北京众星联恒科技有限公司

                                 超高纵横比菲涅尔波带片                                                      世界记录分辨率:7nm


同时我们还可以提供消色差的FZP透镜组,主要由FZP和纳米3D打印的透镜阵列组成,示意图如下:


北京众星联恒科技有限公司



标准软X射线FZP产品列表

型号宽高

材料

厚度
(微米)
ΔRn
(纳米)
D
(微米)
NTm
(纳米)
FZP-S38/844.2SiN0.153884550160
FZP-S50/805SiN0.25080400250
FZP-S40/1555SiN240155970200
FZP-S50/3308SiN1503301,650400
FZP-S86/4168SiN2864161,200700
FZP-100/1558SiN2100155388800
FZP-173/2085.8SiN21732083001,000
FZP-200/2068SiN22002062551,600
FZP-C234/25000.6SiC0.22342,5002,670150



Rn:最外区域宽度
D:直径
N:全区域
Tm:Ta厚度


X射线FZP加工能力


参数

典型值

加工极限

典型值

Ir-line-doubling

加工极限Ir-line-doubling

∆Rn [nm]

50-100

<10

25-50

<10

D [µm]

100 - 500

>4500

100 - 250

>2500 

N

1000-3000

>30000

1000-3000

>30000

Aspect Ratio

10

>30

20

30



消色差X射线FZP加工能力



光斑尺寸
中心能力消色差带宽
500<nm

6.4(典型))

1.2keV(典型)


  • X射线全场显微镜

  • EUV显微镜

  • X射线扫描显微镜

  • X射线微光束辐射和同步加速器辐射光束监视等各种X射线应用


全场显微成像示例

北京众星联恒科技有限公司



北京众星联恒科技有限公司北京众星联恒科技有限公司-X射线菲涅尔波带片-FZP datasheet 2022.6.16.pdf


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