X射线菲涅尔波带片(消色差)

X射线菲涅耳波带片(消色差)

日本NTT-AT公司的由SiC膜和Ta吸收体图案组成的菲涅耳波带板(FZP)具有出色的高耐X射线辐射性、高分辨率和高对比度。

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在X射线显微成像研究领域中,成像方法和手段被细分为了很多的子类。目前主流的X射线显微成像方法主要有:全场透视显微(TXM)、扫描透视显微(STXM)、相干衍射成像(X-ray CDI)等

一般而言,前端照明光通常采用毛细管、椭球镜、菲涅尔波带片(FZP)、负折射镜等聚焦光学组件来获得照明微束,而后端光学器件则根据不同的实验目的来选取,主要有FZP、相移环、光栅等。在众多的光学组件中, FZP是为数不多的,可同时用于聚焦和成像用途的光学器件。对于20-30nm极高空间分辨要求的应用而言,需要FZP的最外环宽度达到20-30nm尺度,同时保证一定的厚度,即对FZP的“深宽比”提出了很高的要求。

得益于在微纳、精密加工方面多年的技术积累,我们目前可以向广大科研用户提供各种规格的FZP产品及定制服务。


产品特点


-      高纵横比菲涅耳波带片

-        在宽带范围(50 eV – 20 keV)衍射效率高

-        灵活的材料选择(Au, Ni, Si, SiO2, Ir, Cr, Diamond)

-        实际分辨率世界记录@基于Ir-line-doubling技术 @ Ir


北京众星联恒科技有限公司

                                  超高纵横比菲涅尔波带片                                                      世界记录分辨率:7nm


同时我们还可以提供消色差的FZP透镜组,主要由FZP和纳米3D打印的透镜阵列组成,示意图如下:


北京众星联恒科技有限公司



标准软X射线FZP产品列表

型号宽高

材料

厚度
(微米)
ΔRn
(纳米)
D
(微米)
NTm
(纳米)
FZP-S38/844.2SiN0.153884550160
FZP-S50/805SiN0.25080400250
FZP-S40/1555SiN240155970200
FZP-S50/3308SiN1503301,650400
FZP-S86/4168SiN2864161,200700
FZP-100/1558SiN2100155388800
FZP-173/2085.8SiN21732083001,000
FZP-200/2068SiN22002062551,600
FZP-C234/25000.6SiC0.22342,5002,670150



Rn:最外区域宽度
D:直径
N:全区域
Tm:Ta厚度


X射线FZP加工能力


参数

典型值

加工极限

典型值

Ir-line-doubling

加工极限Ir-line-doubling

∆Rn [nm]

50-100

<10

25-50

<10

D [µm]

100 -  500

>4500

100  - 250

>2500 

N

1000-3000

>30000

1000-3000

>30000

Aspect Ratio

10

>30

20

30



消色差X射线FZP加工能力



光斑尺寸
中心能力消色差带宽
500<nm

6.4(典型))

1.2keV(典型)


  • X射线全场显微镜

  • EUV显微镜

  • X射线扫描显微镜

  • X射线微光束辐射和同步加速器辐射光束监视等各种X射线应用


全场显微成像示例

北京众星联恒科技有限公司



北京众星联恒科技有限公司NTT-X射线菲涅尔波带片 datasheet 2022.4.24.pdf

论文列表

  • Nobuhito Nango,Shogo Kubota,Akihisa Takeuchi,Yoshio Suzuki,Wataru Yashiro,Atsushi Momose和oichi Matsuo.使用利用同步加速器X射线显微镜的塔尔博特散焦多次断层扫描研究鼠骨内的骨陷窝-骨小管网络.生物医学光学快报,4,917(2013),http://dx.doi.org/10.1364/BOE.4.000917

  • K. Nogita,H. Yasuda,M. Yoshiya,S.D. McDonald,K. Uesugi,A. Takeuchi和Y. Suzuki.亚共晶Al–Si合金的共晶改性中微量元素偏析的作用. 合金与化合物杂志,489,415(2010),http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2009.09.138

  • Yasushi Kagoshima,Hidekazu Takano,Takahisa Koyama,Yoshiyuki Tsusaka和Akihiko Saikubo.用于高能X射线聚集的串联相位光学波带板.日本应用物理学杂志,50 022503(2012),http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.50.022503

  • 极紫外散射测量显微镜
    Tetsuo Harada,Yusuke Tanaka,Takeo Watanabe,Hiroo Kinoshita,Youichi Usui和Tsuyoshi Amano.利用微相干的极紫外掩膜坯上的相位亏损特性.真空科学与技术杂志,B,31,06F605(2013),http://dx.doi.org/10.1116/1.4826249

  • Nobuhiro Yasuda,Yoshimitsu Fukuyama,Shigeru Kimura,Kiminori Ito,Yoshihito Tanaka,Hitoshi Osawa,Toshiyuki Matsunaga,Rie Kojima,Kazuya Hisada,Akio Tsuchino,Masahiro Birukawa,Noboru Yamada,Koji Sekiguchi,Kazuhiko Fujiie,Osamu Kawakubo和Masaki Takata.利用激光泵和同步加速器辐射探针微衍射系统调查光学记录过程.科学仪器评论,84,063902(2013),http://dx.doi.org/10.1063/1.4807858

  • Yoshio Suzuki和Akihisa Takeuchi.利用菲涅耳波带板物镜和双钻石棱镜干涉仪的X射线全息显微术.日本应用物理学杂志,53 122501(2014),http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.122501

  • Masanori Tomitaa,Munetoshi Maeda,Katsumi Kobayashi和Hideki Matsumoto.受p53状态影响的诱导软X射线旁观者细胞杀伤的剂量响应.辐射研究,179,200(2013),http://dx.doi.org/10.1667/RR3010.1

  • W. Yashiro,Y. Takeda,A. Takeuchi,Y. Suzuki和A. Momose.利用菲涅耳波带板和透射光栅的硬X射线相差显微术.物理评论快报,103,180801(2009),http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.103.180801

  • Yutaka Yoshida,Kazuo Hayakawa,Kenichi Yukihira,Masahiro Ichino,Yuki Akiyama,Hiroto Kumabe,Hiroyoshi Soejima.“穆斯堡尔”的开发和应用.超精细相互作用,198,23(2010),http://dx.doi.org/10.1007/s10751-010-0228-x

  • Akihisa Takeuchi,Yasuko Terada,Kentaro Uesugi,Yoshio Suzuki.利用共焦全场X射线显微镜的三维X射线荧光成像.物理学研究中的核仪器与方法,A 616,261(2010),http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2009.10.054

  • K. Horiba,Y. Nakamura,N. Nagamura,S. Toyoda,H. Kumigashira,M. Oshima,K. Amemiya,Y. Senba和H. Ohashi.利用用于纳米级三维空间分辨电子能谱术的扫描式光电子显微镜进行化学分析,” 科学仪器评论,82,113701 (2011),http://dx.doi.org/10.1063/1.3657156

  • Tatsuya Kikuzuki,Yuya Shinohara,Yoshinobu Nozue,Kazuki Ito,Yoshiyuki Amemiya.利用扫描微光束X射线散射在带状球晶中决定片晶扭曲方式.聚合物,51,1632(2010),http://dx.doi.org/10.1016/j.polymer.2010.01.057

  • Sho Kanzaki,Yasunari Takada,Shumpei Niida,Yoshihiro Takeda,Nobuyuki Udagawa,Kaoru Ogawa,Nobuhito Nango,Atsushi Momose,Koichi Matsuocorrespondenceemail.骨质硬化小鼠的听小骨受损振动.美国病理学杂志,178,1270(2011),http://dx.doi.org/10.1016/j.ajpath.2010.11.063

  • Akihisa Takeuchi,Kentaro Uesugi和Yoshio Suzuki.利用扫描–成像X射线光学显微镜的三维相衬X射线微断层摄影,同步加速器辐射杂志. 20,793(2013),http://dx.doi.org/10.1107/S0909049513018876

  • Akihisa Takeuchi,Yoshio Suzuki和 Kentaro Uesugi.利用扫描-成像X射线光学显微镜的微分相衬X射线微成像.科学仪器评论,83,083701(2012),http://dx.doi.org/10.1063/1.4739761

出版物列表(包括合著论文):

  • Akihisa Takeuchi,Yoshio Suzuki,Kentaro Uesugi,Ikuo Okada和Hiroki Iriguchi.对带有用电子束光刻三步制作的剖面的多层菲涅耳波带板的性能测试和评估.日本应用物理学杂志,51 022502(2012),http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.51.022502



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