X射线菲涅耳波带片-北京众星联恒科技有限公司

公司介绍：

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍：

世界上只有恩梯梯尖端技术公司生产基于SiC膜的 FZP

优点：

恩梯梯尖端技术公司的由SiC膜和Ta吸收体图案组成的菲涅耳波带板（FZP）具有出色的高耐X射线辐射性、高分辨率和高对比度。
只有恩梯梯尖端技术公司提供基于SiC膜的菲涅耳波带板（FZP）具有出色的高耐X射线辐射性。恩梯梯尖端技术公司的FZP由干法蚀刻的Ta组成。吸收体图案清晰，S/N比高，成像缺陷少, 能理想地应用于X射线显微镜、X射线微光束辐射和X射线成像。
另外，还提供用于软X射线和极紫外（EUV、XUV）领域的Ta图案／SiN膜型FZP和Au板图案／SiN 膜型FZP。并提供台阶式（基诺全息照片）FZP。

特点:

能用于X射线显微镜、EUV显微镜、X射线微光束辐射和同步加速器辐射光束监视等各种X射线应用。
出色的高耐X射线辐射性
最小区域宽度达25纳米
可定制FZP

菲涅耳波带板（FZP）的X射线吸收体图案

可按要求定制设计FZP，满足用户的特殊X射线能量、光学设置和聚焦、图像性能。如果本公司的标准产品商品目录中没有所需的产品，请联系我们。

图案示意图
（φ2.5mm）（光学显微镜）

以对角观察的SEM图
（SEM）

菲涅耳波带板（FZP）的结构

二进制型

台阶（基诺全息照片）式

最小区域宽度	25纳米
最大直径	5毫米
膜材料	SiN, SiC
膜厚度	0.2至2微米
吸收体材料	Ta
吸收体厚度	0.1至2微米
Si基板形状	10平方毫米
Si基板厚度	1毫米

※我们可与用户商讨不同需求。

带规格的标准产品列表

型号	宽高比	膜材料	膜厚度（微米）	ΔRn （纳米）	D （微米）	N	Tm （纳米）
FZP-S38/84	4.2	SiN	0.15	38	84	550	160
FZP-S50/80	5	SiN	0.2	50	80	400	250
FZP-S40/155	5	SiN	2	40	155	970	200
FZP-S50/330	8	SiN	1	50	330	1,650	400
FZP-S86/416	8	SiN	2	86	416	1,200	700
FZP-100/155	8	SiN	2	100	155	388	800
FZP-173/208	5.8	SiN	2	173	208	300	1,000
FZP-200/206	8	SiN	2	200	206	255	1,600
FZP-C234/2500	0.6	SiC	0.2	234	2,500	2,670	150

※规格可能会变更，恕不预先通告。

Rn：最外区域宽度
D：直径
N：全区域
Tm：Ta厚度

标准交付周期：12个星期

产品示例

超精密图案菲涅耳波带板（FZP）
菲涅耳波带板（FZP）直径：250微米，Ta厚度：125纳米，最外区域宽度：25纳米，膜：SiC 2.0微米

高纵横比（较厚Ta吸收体）菲涅耳波带板（FZP）
菲涅耳波带板（FZP）直径：100微米，Ta厚度：2.5微米，最外区域宽度：250纳米，膜：SiN 2.0微米

台阶（基诺全息照片）式菲涅耳波带板（FZP）
菲涅耳波带板（FZP）直径：100微米，Ta厚度：4.0微米，最外区域宽度：400纳米，膜：SiC 2.0微米

菲涅耳波带板（FZP）中间区域的SEM 图：台阶（基诺全息照片）式菲涅耳波带板（FZP）、Ta图案

北京众星联恒科技有限公司 NTT-AT_X射线菲涅耳波带片 datasheet 2020.7.16.pdf

论文列表

Nobuhito Nango，Shogo Kubota，Akihisa Takeuchi，Yoshio Suzuki，Wataru Yashiro，Atsushi Momose和oichi Matsuo．使用利用同步加速器X射线显微镜的塔尔博特散焦多次断层扫描研究鼠骨内的骨陷窝－骨小管网络．生物医学光学快报，4，917(2013)，http://dx.doi.org/10.1364/BOE.4.000917

K. Nogita，H. Yasuda，M. Yoshiya，S.D. McDonald，K. Uesugi，A. Takeuchi和Y. Suzuki．亚共晶Al–Si合金的共晶改性中微量元素偏析的作用．合金与化合物杂志，489，415(2010)，http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2009.09.138
Yasushi Kagoshima，Hidekazu Takano，Takahisa Koyama，Yoshiyuki Tsusaka和Akihiko Saikubo．用于高能X射线聚集的串联相位光学波带板．日本应用物理学杂志，50 022503(2012)，http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.50.022503
极紫外散射测量显微镜
Tetsuo Harada，Yusuke Tanaka，Takeo Watanabe，Hiroo Kinoshita，Youichi Usui和Tsuyoshi Amano．利用微相干的极紫外掩膜坯上的相位亏损特性．真空科学与技术杂志，B，31，06F605(2013)，http://dx.doi.org/10.1116/1.4826249
Nobuhiro Yasuda，Yoshimitsu Fukuyama，Shigeru Kimura，Kiminori Ito，Yoshihito Tanaka，Hitoshi Osawa，Toshiyuki Matsunaga，Rie Kojima，Kazuya Hisada，Akio Tsuchino，Masahiro Birukawa，Noboru Yamada，Koji Sekiguchi，Kazuhiko Fujiie，Osamu Kawakubo和Masaki Takata．利用激光泵和同步加速器辐射探针微衍射系统调查光学记录过程．科学仪器评论，84，063902(2013)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4807858
Yoshio Suzuki和Akihisa Takeuchi．利用菲涅耳波带板物镜和双钻石棱镜干涉仪的X射线全息显微术．日本应用物理学杂志，53 122501(2014)，http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.122501
Masanori Tomitaa，Munetoshi Maeda，Katsumi Kobayashi和Hideki Matsumoto．受p53状态影响的诱导软X射线旁观者细胞杀伤的剂量响应．辐射研究，179，200(2013)，http://dx.doi.org/10.1667/RR3010.1
W. Yashiro，Y. Takeda，A. Takeuchi，Y. Suzuki和A. Momose．利用菲涅耳波带板和透射光栅的硬X射线相差显微术．物理评论快报，103，180801(2009)，http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.103.180801
Yutaka Yoshida，Kazuo Hayakawa，Kenichi Yukihira，Masahiro Ichino，Yuki Akiyama，Hiroto Kumabe，Hiroyoshi Soejima．“穆斯堡尔”的开发和应用．超精细相互作用，198，23(2010)，http://dx.doi.org/10.1007/s10751-010-0228-x
Akihisa Takeuchi，Yasuko Terada，Kentaro Uesugi，Yoshio Suzuki．利用共焦全场X射线显微镜的三维X射线荧光成像．物理学研究中的核仪器与方法，A 616，261(2010)，http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2009.10.054
K. Horiba，Y. Nakamura，N. Nagamura，S. Toyoda，H. Kumigashira，M. Oshima，K. Amemiya，Y. Senba和H. Ohashi．利用用于纳米级三维空间分辨电子能谱术的扫描式光电子显微镜进行化学分析,” 科学仪器评论，82，113701 (2011)，http://dx.doi.org/10.1063/1.3657156
Tatsuya Kikuzuki，Yuya Shinohara，Yoshinobu Nozue，Kazuki Ito，Yoshiyuki Amemiya．利用扫描微光束X射线散射在带状球晶中决定片晶扭曲方式．聚合物，51，1632(2010)，http://dx.doi.org/10.1016/j.polymer.2010.01.057
Sho Kanzaki，Yasunari Takada，Shumpei Niida，Yoshihiro Takeda，Nobuyuki Udagawa，Kaoru Ogawa，Nobuhito Nango，Atsushi Momose，Koichi Matsuocorrespondenceemail．骨质硬化小鼠的听小骨受损振动．美国病理学杂志，178，1270(2011)，http://dx.doi.org/10.1016/j.ajpath.2010.11.063
Akihisa Takeuchi，Kentaro Uesugi和Yoshio Suzuki．利用扫描–成像X射线光学显微镜的三维相衬X射线微断层摄影，同步加速器辐射杂志. 20，793(2013)，http://dx.doi.org/10.1107/S0909049513018876
Akihisa Takeuchi，Yoshio Suzuki和 Kentaro Uesugi．利用扫描-成像X射线光学显微镜的微分相衬X射线微成像．科学仪器评论，83，083701(2012)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4739761

出版物列表（包括合著论文）：

Akihisa Takeuchi，Yoshio Suzuki，Kentaro Uesugi，Ikuo Okada和Hiroki Iriguchi．对带有用电子束光刻三步制作的剖面的多层菲涅耳波带板的性能测试和评估．日本应用物理学杂志，51 022502(2012)，http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.51.022502

X射线菲涅尔波带片

X射线菲涅耳波带片

特点:

菲涅耳波带板（FZP）的X射线吸收体图案

菲涅耳波带板（FZP）的结构

带规格的标准产品列表

产品示例

超精密图案菲涅耳波带板（FZP）

高纵横比（较厚Ta吸收体）菲涅耳波带板（FZP）

台阶（基诺全息照片）式菲涅耳波带板（FZP）

论文列表

出版物列表（包括合著论文）：