德国Microworks高衬度x射线分辨率测试卡
2021-04-26 13:40:48
常规X射线成像很大程度上依靠便捷的工具来评估各检测系统的性能，也就是分辨率测试卡。Yxlon International和Microworks现在已经签署了一项许可协议，Microworks将把与Yxlon International共同开发的分辨率测试卡商业化，并面向全球市场。该分辨率测试卡使用了Microworks在高纵横比精细结构制备上积累多年的X射线光刻经验，提供了17个测试区域，布局如下。可以检测0.3µm到5um的分辨率，并采用了厚度超过3µm的金作为吸收材料，以获得更好的X射线衬度对比。
布局
0.3 µm line pattern
分辨率测试卡参数
Outer dimension | 8 mm x 8 mm chip size |
Materials | Substrate: 200 μm thick silicon, Absorber: 3 μm high gold |
L/S widths | Tolerance: +/-10% |
Pattern period [μm] | 5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 (17 steps) |
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