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德国Microworks高衬度x射线分辨率测试卡

2021-04-26 13:40:48 3


常规X射线成像很大程度上依靠便捷的工具来评估各检测系统的性能,也就是分辨率测试卡。Yxlon International和Microworks现在已经签署了一项许可协议,Microworks将把与Yxlon International共同开发的分辨率测试卡商业化,并面向全球市场。该分辨率测试卡使用了Microworks在高纵横比精细结构制备上积累多年的X射线光刻经验,提供了17个测试区域,布局如下。可以检测0.3µm到5um的分辨率,并采用了厚度超过3µm的金作为吸收材料,以获得更好的X射线衬度对比。


北京众星联恒科技有限公司

布局

北京众星联恒科技有限公司

0.3 µm line pattern


分辨率测试卡参数

Outer dimension

8 mm x 8 mm chip size

Materials

Substrate: 200 μm thick silicon, Absorber: 3 μm high gold

L/S widths

Tolerance: +/-10%

Pattern period [μm]

5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 (17 steps)



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北京众星联恒科技有限公司作为Microworks公司中国区授权总代理商,为中国客户提供Microworks所有产品的售前咨询,销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的x射线产品及解决方案。

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