XUV高反射率镜

XUV高反射率镜

公司介绍:NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广

  • 产地: 日本
  • 型号:
  • 品牌: NTT-AT

公司介绍:

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X射线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍:

因为NTT-AT公司的多层反射镜质量高,所以一直被世界上的研究机构所选用。本公司定制多层材料和结构,满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。

XUV多层反射镜(EUV多层反射镜)

基板形状:平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面
基板材料:石英、硅、zero dewer等
多层膜材料:Mo/Si(50eV至100eV)、Ru/Si(50eV至100eV)、Zr/Al(50eV至70eV)、SiC/Mg(25eV至50eV)、Cr/C(至300eV)等

基板尺寸:φ3毫米至φ300毫米(标准值为1英寸)


产品示例

Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米(90电子伏)波长的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多层反射镜具有高达70%的正入射反射率。
NTT-AT公司的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。

北京众星联恒科技有限公司

Φ10毫米平面反射镜

北京众星联恒科技有限公司

测量的Mo/Si多层的反射率
(正入射角:2度)


北京众星联恒科技有限公司

用于泵浦探测试验的多层反射镜

北京众星联恒科技有限公司

测量宽带反射镜、
窄带反射镜(波长:30纳米)的反射率

北京众星联恒科技有限公司

EUV宽带椭圆面反射镜
(Φ100毫米zero dewer)



北京众星联恒科技有限公司

No

Design name

AOI

pol.

peak energy

reflectivit

bandwidth (FWHM)

1

HR-98-3.4

5 deg

s

98 eV

12.7 nm

67.7%

3.4 eV

(0.4 nm)

2

HR-95-3.8

5 deg

s

95 eV

13.1 nm

67.7%

3.8 eV

(0.5 nm)

3

HR-90-3.8

5 deg

s

90 eV

13.8 nm

68.0%

3.8 eV

(0.6 nm)

4

HR-85-4.0

5 deg

s

85 eV

14.6 nm

66.8%

4.0 eV

(0.7 nm)

5

HR-80-4.0

5 deg

s

80 eV

15.5 nm

63.3%

4.0 eV

(0.8 nm)

6

HR-75-4.6

5 deg

s

75 eV

16.5 nm

54.5%

4.6 eV

(1.0 nm)

7

HR-70-5.0

5 deg

s

70 eV

17.7 nm

47.5%

5 eV

(1.2 nm)

8

HR-70-2.6

5 deg

s

70 eV

17.7 nm

52.1%

2.6 eV

(0.7 nm)

9

HR-65-2.6

5 deg

s

65 eV

19.1 nm

48.5%

2.6 eV

(0.8 nm)

10

HR-60-2.8

5 deg

s

60 eV

20.7 nm

43.7%

2.8 eV

(1.0 nm)

11

HR-55-3.6

5 deg

s

55 eV

22.5 nm

37.3%

3.6 eV

(1.5 nm)

12

HR-50-4.2

5 deg

s

50 eV

24.8 nm

30.9%

4.2 eV

(2.1 nm)

13

HR-48-2.0

5 deg

s

48 eV

25.8 nm

50.6%

2.0 eV

(1.1 nm)

14

HR-45-2.4

5 deg

s

45 eV

27.6 nm

48.4%

2.4 eV

(1.4 nm)

15

HR-40-2.6

5 deg

s

40 eV

31.0 nm

44.8%

2.6 eV

(2.0 nm)

16

HR-35-2.6

5 deg

s

35 eV

35.4 nm

43.1%

2.6 eV

(2.6 nm)

17

HR-30-3.0

5 deg

s

30 eV

41.3 nm

41.2%

3.0 eV

(4.1 nm)

18

HR45-90-6.0

45 deg

s

90 eV

13.1 nm

66.1%

6.0 eV

(0.9 nm)

19

HR45-80-7.4

45 deg

s

80 eV

15.5 nm

60.0%

7.4 eV

(1.4 nm)

20

HR45-70-36.0

45 deg

s

70 eV

17.7 nm

49.0%

3.6 eV

(0.9 nm)

21

HR45-60-5.4

45 deg

s

60 eV

20.7 nm

40.8%

5.4 eV

(1.8 nm)

22

HR45-50-10.0

45 deg

s

50 eV

24.8 nm

30.0%

10.0 eV

(5.1 nm)

23

HR45-40-5.0

45 deg

s

40 eV

31.0 nm

44.4%

5.0 eV

(3.8 nm)

24

HR45-30-7.0

45 deg

s

30 eV

41.3 nm

42.5%

7.0 eV

(9.3 nm)


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北京众星联恒科技有限公司NTT-AT_XUV高反射率镜 datasheet 2020.7.16.pdf


 Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments - white paper 20201202

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