X射线光栅及LIGA微结构

X射线分辨率测试卡

用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准。

  • 产地: 日本
  • 型号: XRESO系列
  • 品牌: NTT-AT

用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准。

优点

恩梯梯尖端技术公司的X射线分辨率评估图被应用于X射线显微镜、X射线微光束分析和X射线成像等需要超高分辨率的X射线分析。此已成为事实上标准的X射线图被广泛应用于世界上许多地方。
恩梯梯尖端技术公司的X射线图的最大特点是高耐X射线辐射性、超清晰图案和低边缘粗糙度。本公司基于Ta吸收体图的SiC膜极其精确,能为用户的X射线分析系统评估提供清晰的图像。
您不尝试一下这事实上标准的性能吗?

特点

有三种X射线图可应用于各种方面:标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。


有三种X射线图可应用于各种方面:标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。

规格

项目标准型
XRESO-100
高分辨率型
带较厚Ta
吸收体
XRESO-50HC
新!!
超高分辨率
XRESO-20
基板材料、尺寸Si 10平方毫米
厚度1毫米1毫米0.625毫米
材料、
厚度
Ru 20纳米
SiN 2微米
Ru 20纳米
SiC 200纳米
SiN 50纳米
Ru 20纳米
SiC 200纳米
SiN 50纳米
区域1平方毫米1平方毫米1平方毫米
对齐基板中间基板中间基板中间
图案吸收体、
厚度
Ta 1微米Ta 500纳米Ta 100纳米
最小图案
尺寸
100纳米50纳米20纳米
放射形图案
图案区域250微米×350微米300平方微米300平方微米


X-ray_chart_01
X射线图(高分辨率图)的略图


恩梯梯尖端技术公司的已成为事实上标准的X射线分辨率评估图在世界上被用于企业、大学和研究所。

  • 超高分辨率型  XRESO-20

XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。

图的SEM图像图案布局
100纳米孔

北京众星联恒科技有限公司

①放射形图案

③④孔图案

⑤⑥⑦⑧L&S图案

北京众星联恒科技有限公司

50纳米孔
北京众星联恒科技有限公司
20纳米图案20纳米放射形图案
北京众星联恒科技有限公司北京众星联恒科技有限公司


  • 超高分辨率型  XRESO-20

XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。


图案布局
X-ray_chart_1.jpg


  • 带较厚吸收体的高分辨率型  XRESO-50HC

XRESO-50HC提供成本合理的50纳米高分辨率。其已被应用于X射线微光束辐射、X射线显微镜和X射线相干成像等各种用途。

图的SEM图像图案布局
放射形图案
相应于图案布局的(1)
北京众星联恒科技有限公司

北京众星联恒科技有限公司

50纳米 L&S
相应于图案布局的(2)
北京众星联恒科技有限公司




论文列表

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  • T. Salditt,S. Kalbfleisch,M. Osterhoff,S. P. Krüger,M. Bartels,K. Giewekemeyer,H. Neubauer和M. Sprung.塔尔博特干涉仪揭示的部分相干纳米聚集X射线辐射特性.光学快报,19,9656(2011),http://dx.doi.org/10.1364/OE.19.009656

  • K. Giewekemeyer,M. Beckers,T. Gorniak,M. Grunze,T. Saldit和A. Rosenhahn.水窗中的重叠关联成像术相干X射线衍射成像.光学快报,19,1037(2011),http://dx.doi.org/10.1364/OE.19.001037

  • C. Homann,T. Hohage,J. Hagemann,A.-L. Robisch和T. Salditt.近场成像中的虚光束校正的正确性.物理评论,A 91,013821(2015),http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevA.91.013821

  • Klaus Giewekemeyer,Hugh T. Philipp,Robin N. Wilke,Andrew Aquila,Markus Osterhoff,Mark W. Tate,Katherine S. Shanks,Alexey V. Zozulya,Tim Salditt,Sol M. Grunerb和Adrian P. Mancuso.高动态范围相干衍射成像:利用混合模式像素阵列检测器的重叠关联成像术. 同步加速器辐射杂志,21,1167(2014),http://dx.doi.org/10.1107/S1600577514013411

  • Max Rose,Petr Skopintsev,Dmitry Dzhigaev,Oleg Gorobtsov,Tobias Senkbeil,Andreas von Gundlach,Thomas Gorniak,Anatoly Shabalin,Jens Viefhaus,Axel Rosenhahne和Ivan Vartanyants.利用相干X射线的水窗重叠关联成像术成像.同步加速器辐射杂志,22,819 (2015),http://dx.doi.org/10.1107/S1600577515005524


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