X射线常见表征术语

XRF

2019-05-09 15:43:09 149

什么是 XRF


X 射线荧光 (XRF) 是一种强大的定量和定性分析工具,用于材料的元素分析。它非常适合测量薄膜厚度和成分,按固体和溶液的重量测定元素浓度,以及鉴定复杂样品基质中的特定元素和微量元素。XRF 分析广泛应用于半导体、电信、微电子、金属加工和精炼、食品、医药、化妆品、农业、塑料、橡胶、纺织品、燃料、化学品和环境分析等许多行业。该方法快速、准确、无损,几乎无需样品制备。


XRF 如何工作


当样品中的元素暴露于高强度 X 射线源时,荧光 X 射线将以这些元素特有的能级从样品发射。

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所有 XRF 光谱仪的基本概念都是源、样品和检测系统。源照射样品,检测仪测量从样品发射的荧光辐射。在大多数情况下,XRF 的源是 X 射线管。替代方案是放射源或同步加速器。XRF 仪器主要有两种类型:能量色散 X 射线荧光 (EDXRF) 和波长色散 X 射线荧光 (WDXRF)。

X 射线光学透镜可用于增强这两种 XRF 仪器。对于常规 XRF 仪器,样品表面典型焦斑尺寸的直径范围从几百微米到几毫米不等。多毛细管聚焦光学透镜从发散 X 射线源收集 X 射线,并将它们引导至样品表面上形成直径小到几十微米的小聚焦光束。由此增加的强度以小焦斑传递到样品,可增强用于小特性分析的空间分辨率和用于微 X 射线荧光应用的微量元素测量性能。双曲面弯晶光学透镜将高强度微米级单色 X 射线束引导至样品表面,用于加强元素分析。

上述内容来源于XOS官网

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