X射线-近红外探测器/相机

EUV光谱法测量超薄箔厚度

2020-03-02 12:57:37 24
  • 相关产品:Greateyes

EUV透射光谱法是基于激光诱导等离子体源的薄膜厚度快速表征方法。激光聚焦在钼靶上,产生特征的等离子体发射,经滤波和单色化后EUV光透射超薄箔。为了测量和箔厚度相关的透射光,需要读出噪声非常低、高灵敏度非常高的相机。使用柏林马克斯伯恩研究所的GE 2048512 BI-UVI相机,标准差小于0.005,箔厚度表征可达纳米精度。

首页
产品
新闻
联系