EUV/XUV/SXR 光学元件
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1及0.5英寸13.5nm极紫外多层膜反射镜
XUV掠入射反射镜
XUV多毛细管透镜
水窗软X射线及6.Xnm多层膜镜片
13.5nm三维极紫外复制镜
极紫外碳纳米管（CNT）保护膜
13.5nm菲涅尔波带片
13.5nm 极紫外透、反射测试图案
13.5nm半透半反分束镜
13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜
XUV多层膜高反射率镜（8-12nm）
13.5nm 极紫外施瓦茨希尔德（Schwarzschild）物镜
XUV多层膜高反射率镜（大于13.5nm）
XUV多层膜窄带反射镜
XUV宽带反射镜
三维13.5nmEUV/SXR复制镜
DUV聚焦镜-光电子能谱
金属XUV滤光片
XUV、IR二向色镜
XUV/极紫外透射光栅
Si3N4 membrane薄膜
