XUV多层膜高反射率镜(大于13.5nm)

对于大于13.5nm的XUV波段对于高次谐波、天文学、x射线激光以及其他应用来说都非常重要。特别是高次谐波,如阿秒动力学测量、角分辨光电子能谱和双光子吸收等基础研究。在这个波段我们可以提供灵活且有反射率保证的镀膜设计以用于HHG光源谐波挑选、聚焦等应用。

型号: 定制
品牌: optiX fab.

产品介绍

得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注,近10年的积累,对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生产了近2万多片镜片,中大多数都是半导体工业的客户,如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切,我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG,激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用,针对中国市场联合推出的1/0.5英寸的高性能13.5nm多层膜镜片,并在中国办公室备有库存,以实现镜片的快速交付。同时把EUVL级别镀膜技术带到中国基础科研市场,并可以提供灵活的定制服务,以满足前沿科学研究的特种要求。

对于大于13.5nm的XUV波段对于高次谐波、天文学、x射线激光以及其他应用来说都非常重要。特别是高次谐波,如阿秒动力学测量、角分辨光电子能谱和双光子吸收等基础研究。在这个波段我们可以提供灵活且有反射率保证的镀膜设计以用于HHG光源谐波挑选、聚焦等应用。

特征优势

1高度灵活的多层膜设计
2PTB实测反射率保证镜片性能
3极紫外光刻级镀膜工艺
4基底尺寸高达Ø650毫米
5面型精度高达lambda/50
6平面、球面(凹凸)、柱面、超环面、抛物面、椭球面可定制

规格参数

典型基底规格

参数平面基底球面基底
材料fused silicafused silica
尺寸25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm
厚度6.35 ±0.25 mm6.35 ±0.25 mm
面形精度λ/20 @ 632.8 nm PVλ/20 @ 632.8 nm PV
表面粗糙度σ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rms
曲率半径-500 mm (± 1 %)


典型多层膜设计反射率实测


典型应用

  • HHG谐波挑选

  • XUV单色仪

  • 等离子光源分析

  • 天文观测


咨询时,请告知以下事项


● 中心波长

● 反射带宽 (FWHM)

● 所需的最小反射率、

●入射角

●偏振  

●基底尺寸和形状

● 数量

典型应用

关于众星联恒和optiX fab

德国optiX fab是Fraunhofer IOF孵化的衍生公司,成立于2013年,旨在商业化Fraunhofer IOF的XUV/软、硬X光学器件的研究和开发活动,致力于设计,开发和制造各类多层膜镜。optiXfab已经为全球高端制造商以及研究所、大学、同步辐射客户提供定制的用于XUV/软、硬X光光谱范围内的多层膜和掠入射光学器件。众星联恒联合optiXfab,为中国用户提供所有售前咨询,销售及售后服务。同时,众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商,目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存,具备快速交付能力,以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室,配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器,可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。

我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队,如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨,不要犹豫,请直接联系我们。

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