极紫外碳纳米管（CNT）保护膜
目前我司可以提供高质量的极紫外碳纳米管（CNT）保护膜，以用于极紫外、X射线相关的基础研究。
产品介绍
EUV光在产生和发射过程中不可避免的碎屑污染的问题，除了利用电场、磁场、气体吹拂等有利措施改变碎屑运动的方向，减少污染源进入EUV光路外，采用对EUV光具有高透过率的薄膜元件实现对污染碎屑的阻挡和隔离是实现高分辨率图案光刻的核心环节。新一代的EUV薄膜元件主要采用碳基材料，例如石墨烯薄膜和碳纳米管（CNT）薄膜，相比于早期的晶体硅薄膜，碳基薄膜具有更高的EUV透过率，同时碳材料优异的导热性和机械稳定性，使得这类薄膜材料能够满足EUV光刻过程中的碎屑污染防护。 目前我司可以提供高质量的极紫外碳纳米管（CNT）保护膜，以用于极紫外、X射线相关的基础研究。
规格参数
保护膜主要参数：
保护膜尺寸：Ø14.7mm / 25mm（自支撑）
释气材料：无
13.5nm透过率>85%（使用550nm光等效测试）
13.5nm透过率均匀性：+/1 %
粒子防护能力：>95% （粒子尺寸 30nm 到1µm）
图1 极紫外碳纳米管（CNT）保护膜尺寸图
支架主要参数：
支架内径：15 mm / 25.4mm
支持外径：24 mm / 34.4 mm
支架厚度： 2.6mm
支架材料： 304不锈钢，无排气
众星联恒是EUV-X射线核心部件及解决方案供应商，除了极紫外碳纳米管（CNT）保护膜以外，我们还可以提供其他各类的极紫外、X射线滤片，如果自支撑金属滤膜，多层膜反射滤片等详情如下：
图2 各类EUV、X射线滤片（部分有现货）
关于众星联恒
众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
