13.5nm三维极紫外复制镜
捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”的极紫外、软X射线掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。
型号: 定制
品牌: RITE
产品介绍
捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺，能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm，组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。此类型的极紫外复制镜常用于用于LPP、DPP小型实验室极紫外光源的收集镜，聚焦镜（condensor）以用于极紫外全场显微成像、及其他光谱应用。
超高表面精度和更低的表面粗糙度
| 平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
| 10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
| 1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru镀层的微观粗糙度:
面形误差精度
使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm，抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm
更高的反射率
规格参数
复制镜典型参数
• 光谱范围: EUV (60 – 200 eV)；软X射线（200-2000eV）；硬X射线 (2 – 10 KeV)
• 镜片面形: 椭球镜（点对点聚焦），抛物面镜（平行光束），也可根据需求定制其他面形
• 光学面材料: Au, Ni, Ru等
• R ≥50%
• 典型表层粗糙度: Ra≈1- 2 nm
• 典型尺寸: 直径D = 5 – 250 mm；长度L=10-140mm
成像几何
加工镜片示例
聚焦性能展示
资料文献
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研究人员使用RITE的镀Ni椭球复制镜作为软X射线全称显微系统的聚光镜（Condensor），该镜片实现了对于毛细管放电等离子体源（DPP）产生光（2.88nm）的收集，并实现了对样品的照明。整套系统的空间分辨低至75nm，后端相机研究人员选用的众星联恒合作伙伴greateyes的XUV CCD相机。
本研究利用激光产生的等离子体源生成了氙（Xe）光致电离等离子体。极紫外（EUV）辐射束被RITE的椭球聚焦镜聚焦到一股气流上，该气流与EUV脉冲同步注入真空室。能量超过100 eV的光子引发了Xe原子的内壳层电离。N壳层空穴的产生导致了N壳层荧光发射，并随后引发了多重电离过程。研究记录了对应于Xe II–V离子激发态的时间积分EUV光谱。在39–65 nm波长范围内检测到的几条发射谱线此前未见报道；由于现有公开数据库中缺乏相关信息，这些谱线未能得到识别。除了EUV波段的光谱测量外，研究还记录了源自Xe II和III离子的时间分辨紫外及可见光光谱。针对对应于Xe II离子辐射跃迁的谱线，利用玻尔兹曼图法（Boltzmann plot method）计算了电子温度；基于该方法，测量了相对于驱动EUV脉冲的不同延迟时间下的电子温度。
研究人员使用RITE的镀Ni椭球复制镜作为软X射线全称显微系统的聚光镜（Condensor），该镜片实现了对于激光驱动软X射线（LPP）产生光（2.88nm）的收集，并实现了对样品的照明。整套系统的空间分辨低至60nm，后端相机研究人员选用的众星联恒合作伙伴greateyes的XUV CCD相机。
关于众星联恒和RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE”)，配有多个专业的X射线实验室，作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。随着EUV/XUV产业发展如火如荼，X射线各领域的研究也不断深入，RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外，RITE秉承着开放合作的理念，也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。
众星联恒联合RITE，为中国用户提供所有售前咨询，销售及售后服务。同时，众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
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