水窗软X射线及6.Xnm多层膜镜片

软X波段由于波长具有波长比13.5nm更短的特点,使得它成为了下一代先进光刻(Blue-X)波长的潜力选手;与此同时在“水窗”波段 (284 - 530 eV ) 可以直接实现含水生物样品 (比如细胞)的高衬度无损纳米级别三维成像;得益于中红外飞秒激光器技术的发展,使用我们可以通过HHG产品软X射线的阿秒脉冲,以用于研究研究电子的动态演变。所以无论您需要软X射线的收集镜、单色器,还是聚焦镜,我们都可以给提供高性能、通过定制以满足您需求的设计。

型号: 定制
品牌: optiX fab.

产品介绍

北京众星联恒科技有限公司至今在X射线与极紫外(EUV)领域已经有近十年的深耕积累,以及对EUV光学技术发展趋势和中国市场需求有较为深入理解。而和众星联恒一样在2013年成立德国optiXfab公司,专注于商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生产了近2万片高性能极紫外、X射线镜片,其中大多数都是半导体、航天工业的客户,如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等关键光学组件,拥有丰富的产业化经验和成熟的制造工艺。基于双方长期、深入的技术交流与市场研判,我们达成了深度合作并决定将这一经过半导体工业验证的先进镀膜技术进一步拓展至科研应用领域,双方联合推出适用于13.5 nm波段的高性能Mo/Si多层膜反射镜产品,涵盖1英寸和1/2英寸等标准规格。该系列产品可广泛应用于HHG光源、激光驱动等离子体光源、EUV成像、EUV计量与EUV光谱等前沿研究方向同时,相关产品已在中国本地建立库存,可实现快速响应与交付,为用户的科研项目提供更加高效、便捷的支持。

软X波段由于波长具有波长比13.5nm更短的特点,使得它成为了下一代先进光刻(Blue-X)波长的潜力选手;与此同时在“水窗”波段 (284 - 530 eV ) 可以直接实现含水生物样品 (比如细胞)的高衬度无损纳米级别三维成像;得益于中红外飞秒激光器技术的发展,使用我们可以通过HHG产品软X射线的阿秒脉冲,以用于研究研究电子的动态演变。所以无论您需要软X射线的收集镜、单色器,还是聚焦镜,我们都可以给您提供高性能的、灵活的定制方案以满足您实验需求。

特征优势

1高度灵活的多层膜设计
2PTB实测反射率保证镜片性能
3极紫外光刻级镀膜工艺
4基底尺寸高达Ø650毫米
5面型精度高达lambda/50
6平面、球面(凹凸)、柱面、超环面、抛物面、椭球面可定制

规格参数

典型基底规格

参数平面基底球面基底
材料fused silicafused silica
尺寸25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm
厚度6.35 ±0.25 mm6.35 ±0.25 mm
面形精度λ/20 @ 632.8 nm PVλ/20 @ 632.8 nm PV
表面粗糙度σ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rms
曲率半径-500 mm (± 1 %)


典型多层膜设计的PTB反射率实测




典型应用


  • Water Window 软X射线显微镜

  • X射线望远镜

  • 等离子光源分析

  • XRF

  • XPS/ESCA等


咨询时,请告知以下事项


● 中心波长

● 反射带宽 (FWHM)

● 所需的最小反射率、

● 入射角

● 偏振  

●基底材料、尺寸和形状

●数量

典型应用

资料文献

找到 1 篇资料

01
Fogelqvist, Emelie, et al.Scientific Report2017

水窗X射线显微技术能够以独特的对比度和高分辨率,对完整、未经染色且处于冷冻固定近天然状态的细胞进行二维和三维(2D和3D)成像。(人)在场的基于同步辐射设施的生物水窗显微镜在使用上受到限制,难以实现广泛获取并与其他互补技术整合。而实验室光源显微镜由于曝光时间长、运行时间有限,一直难以以足够的分辨率和对比度完成相关的生物学任务。本文报道了一种实验室用低温X射线显微镜技术,其曝光时间短、对比度高且稳定性好,可实现完整细胞及细胞间相互作用的常规高空间分辨率三维成像。通过稳定激光等离子体光源(LPP source),并结合新型光学系统(optiXfab公司制造的软X射线多层膜收集镜、及与之匹配的软X射线FZP和CCD相机)与样品制备方法,实现了高分辨率细胞成像:二维成像仅需十秒曝光,三维成像则可通过二十分钟的断层扫描完成。应用实例包括观察饥饿状态下HEK293T细胞中富含碳的囊泡分布,以及自然杀伤细胞与靶细胞之间相互作用的成像。

关于众星联恒和optiX fab

德国optiX fab是Fraunhofer IOF孵化的衍生公司,成立于2013年,旨在商业化Fraunhofer IOF的XUV/软、硬X光学器件的研究和开发活动,致力于设计,开发和制造各类多层膜镜。optiXfab已经为全球高端制造商以及研究所、大学、同步辐射客户提供定制的用于XUV/软、硬X光光谱范围内的多层膜和掠入射光学器件。众星联恒联合optiXfab,为中国用户提供所有售前咨询,销售及售后服务。同时,众星联恒作为一家专业的极紫外、X射线核心部件及解决方案提供商,目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存,具备快速交付能力,以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室,配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器,可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。

我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队,如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨,不要犹豫,请直接联系我们。

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