极紫外/X射线波前分析孔阵列
基于多年的高精度微纳加工的技术积累，众星联恒的或作伙伴瑞士XRnanotech及Microworks公司可以提供用于极紫外、X射线的孔阵列哈特曼波前传感器板。目前已经成功用于极紫外、X-ray自由电子激光的波前诊断。
产品介绍
波前传感器可同时检测入射光场的相位和强度，是近红外到X射线波段重要的光源在线波前诊断工具，在同步辐射光束线调试（如聚焦镜、K-B聚焦系统的调节）、分析高次谐波和自由电子激光等XUV、X-ray光源的位置、形状和尺寸和FEL用户实验诊断（当时主要实验是对于FEL光束透明时，可以用户于单发光斑的尺寸为位置测试）等方面非常广泛的应用。
Hartmann-Shack波前传感器是目前最为常见的在线波前整形诊断方法（如图1所示）。该方法的核心思想是通过模拟几何光学追迹，反演重构出入射光场实际的波前信息。简单来讲，就是使用一组微透镜或微孔阵列将入射光束分割成一系列微小光束，并根据焦平面处CCD探测器对这些微束的成像及光强空间分布信息，反推出入射光场的波前相位和强度信息。因此，相较于传统的刀边或显微成像等焦斑成像方法，Hartmann-Shack波前传感器能够在不影响实验光路的情况下对聚焦光的波前像差进行在线诊断和反馈，甚至可实现单发脉冲光场的幅度和强度检测。
基于多年的高精度微纳加工的技术积累，众星联恒的或作伙伴瑞士XRnanotech及Microworks公司可以提供用于极紫外、X射线的孔阵列哈特曼波前传感器板。目前已经成功用于极紫外、X-ray自由电子激光的波前诊断。
规格参数
典型加工能力
| 参数 | 典型值 | 加工极限 |
|---|---|---|
| 材料 | 10 µm Si薄膜 | Si, Au, W |
| 深宽比 | 10 | >30 |
| 面积 | 薄膜: 4.5 mm x 4.5 mm | > 10 mm x 10 mm |
金刚石、金、硅的性能对比
| 材料 | 金刚石 | 金 | 硅 |
| 原子序数 | 6 | 79 | 14 |
| 密度 [g/cm³] | 3.52 | 19.3 | 2.33 |
| 熔点 [℃] | >2000 | 1064 | 1410 |
| 热导率 [W/(m·K)] | 2200 | 310 | 150 |
| 10 keV π相移厚度[μm] | 8.52 | 2.07 | 12.67 |
加工示例
| 2维硅方孔(周期:25μm，孔径:12.5μm) | 2维硅孔方(周期:30um，孔径:3μm) |
|---|
| 金方孔阵列（周期：60μm，孔径：3,4,5μm可选，金厚度：~95μm） |
|---|
| 金方孔阵列（周期：，孔径：5.8μm，金厚度：~45μm） |
|---|
典型应用
自由电子激光波前检测
同步辐射波前检测
HHG光源波前检测
典型应用
资料文献
找到 1 篇资料
德国电子同步加速器研究所的P. Vagovic等人利用单个二维金刚石相位光栅干涉法表征X射线波前，研究人员将周期为4μm的棋盘光栅置于波导下游约126mm处，实现了40倍的放大效果。仅凭单幅干涉图就成功重建了振幅和相位分布。采用金刚石相位光栅等合适的相位调制器，单光栅装置的光子能量范围可下探至4 keV。
关于众星联恒和XRnanotech
XRnanotech是一家源自瑞士保罗谢勒研究所（Paul Scherrer Institut）超过十余年前沿研究与开发成果的高科技企业，于2020年正式成立，致力于将纳米光学领域的突破性创新推向产业化应用。其中德国Mciroworks公司是XRnanotech的子公司，非常擅长使用LIGA技术，制造高深宽比微纳结构。
公司愿景是赋能全球光学仪器，使其充分发挥性能潜力，突破现有技术边界；使命则专注于开发与制造最高水平的纳米光学器件，在分辨率、效率、稳定性与结构设计等关键指标上实现极致优化。
其产品线包括：极紫外、X射线菲涅耳波带片、X射线相衬光栅、金刚石光学器件、X射线微纳米分辨率测试卡、超透镜和中子光栅等，应用领域涵盖X射线科学研究、材料分析、医学成像等多个前沿方向。凭借独特的 Ir-线倍增技术，XRnanotech 可以制造分辨率可低至<10nm的菲涅耳波带片，并提供各种材料，如金，镍，硅（二氧化硅），铱，铬甚至金刚石。
众星联恒作为瑞士XRnanotech公司中国区的独家代理，为中国用户提供所有售前咨询，销售及售后服务。同时，众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
