三维13.5nmEUV/SXR复制镜
捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺，能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm，组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
型号: 定制
品牌: RITE
产品介绍
捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺，能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm，组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
- 超高表面精度和更低的表面粗糙度
| 平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
| 10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
| 1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
- Ru镀层的微观粗糙度:
- 面形误差精度
使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm，抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm
- 更高的反射率
规格参数
复制镜典型参数
• 光谱范围: EUV (60 – 200 eV)；软X射线（200-2000eV）；硬X射线 (2 – 10 KeV)
• 镜片面形: 椭球镜（点对点聚焦），抛物面镜（平行光束），也可根据需求定制其他面形
• 光学面材料: Au, Ni, Ru等
• R ≥50%
• 典型表层粗糙度: Ra≈1- 2 nm
• 典型尺寸: 直径D = 5 – 250 mm；长度L=10-140mm
成像几何
加工镜片示例
聚焦性能展示
对于光学复制技术的扩展，RITE还可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)
多箔光学镜(Multi-Foil Optics, MFO)非常适合软X射线、EUV波段和大视场的应用，由两组相互垂直的极薄反射镜组成，光子通过掠入射角进行反射。可根据客户要求快速定制开发多种形状1D或2D的MFO（如龙虾眼，Kirkptrick-Baez组等）。
MFO多箔光学镜 (龙虾眼，KB镜组) -EUV/SXR大视场
| 大视场：max ±60° 衬底：玻璃或硅 开口孔径：3x3 mm - 300x300 mm 箔层厚度：30μm – 1 mm 表层材料: Au, Ni, Mo, Pt, W, .. |  |
加工镜片示例
性能展示
| MFO椭圆 KB系统 | |
|---|---|
| 能量范围: 80 – 120 eV 焦长: 440 mm倍率: ~ 1:1 视场: 20° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 – 1.0 mm 外形尺寸: 100 x 100x 100 mm 口径: 75 x 75 mm金镀膜镜片 镜片间距： 1 到 5 mm镜 片间自由空间 (前视): 56% |  焦点细节 |
 激光驱动氙气和氪气极紫外辐射的聚焦光斑强度分布。 |  几何构型 |
龙虾眼镜片 | |
| 能量范围5 - 10 keV 焦长: 1 000 - 1 200 mm 倍率: ~ 1:1 视场: 2° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm 外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm 口径: 18 x 18 mm 镀金镜片 镜片间距0.3 mm 镜片间自由空间 (前视): 56% |  聚焦细节(FWHM = 19 arcmin)，光源80µm，8kev, MEDIPIX2探测器(CTU)。 |
典型应用
- 水窗、极紫外显微
- X射线光电子能谱
- X射线显微成像
- 极紫外光刻
参考用户
- 德国BESSY 光源
- 美国CYMER公司
- 德国哥廷根激光实验室
- 美国海军研究实验室
- 美国国家标准与技术研究院
- 美国加州大学
- 日本NTT
- 韩国LG
- 荷兰国家应用科学研究院
- 爱尔兰都柏林大学
关于众星联恒和RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE”)，配有多个专业的X射线实验室，作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。随着EUV/XUV产业发展如火如荼，X射线各领域的研究也不断深入，RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外，RITE秉承着开放合作的理念，也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。
众星联恒联合RITE，为中国用户提供所有售前咨询，销售及售后服务。同时，众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
| RITE实验室 | EUV Replicated Optic |
 |  |
