13.5nm 极紫外透、反射测试图案
对于微曝光工具性能测试或缺陷检测技术（PTY显微成像、基于施瓦茨谢尔德物镜的显微成像技术等）能力验证，我们基于多年的经验和强大的高精度微纳结构加工及镀膜能力，我司可以提供多种类型极紫外（EUV）测试图案。
产品介绍
对于微曝光工具性能测试或缺陷检测技术（CDI、PTY和极紫外全场显微技术等）能力验证，我们基于多年的经验和强大的高精度微纳结构加工及镀膜能力，我司可以提供多种类型极紫外（EUV）测试图案。
规格参数
1）基于纳米透射光栅类透射测试结构
2） 在极紫外多层膜上制作HSQ或金属吸收体微纳图案
3）在HSQ或金属吸收体微纳图案上沉积极紫外多层膜
资料文献
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optiXfab为了基于实验室极紫外反射pty成像系统，渎职了含有工程缺陷的极紫外镜片，以用于系统成像性能的测试。该镜片是在硅基底上刻蚀了1951 USAF分辨率测试卡的凹坑，然后镀上了Mo/Si多层膜
optiXfab为瑞士同步辐射的反射模式的EUV掩模扫描无透镜成像显微镜（RESCAN）的测试样品提供了镀膜服务，该样品为在图案化的硅片上镀制了Mo/Si读出多层膜，然后使用的电子束光刻技术在多层膜上面制作的图案化的SiO2吸收体。
optiXfab公司在使用电子束光刻制造的编码缺陷的基底上镀制了Mo/Si多层膜。该带有已知缺陷的镜片，将用于光学暗场极紫外显微系统（基于DDP光源和施瓦茨谢尔德物镜的系统）的成像能力测试。
关于众星联恒和optiX fab
德国optiX fab是Fraunhofer IOF孵化的衍生公司，成立于2013年，旨在商业化Fraunhofer IOF的XUV/软、硬X光学器件的研究和开发活动，致力于设计，开发和制造各类多层膜镜。optiXfab已经为全球高端制造商以及研究所、大学、同步辐射客户提供定制的用于XUV/软、硬X光光谱范围内的多层膜和掠入射光学器件。众星联恒联合optiXfab，为中国用户提供所有售前咨询，销售及售后服务。同时，众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
