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Products

EUV/XUV/SXR 光学元件
1及0.5英寸13.5nm极紫外多层膜反射镜

1及0.5英寸13.5nm极紫外多层膜反射镜

技术：X射线成像、谱学、极紫外光刻、HHG
XUV多毛细管透镜

XUV多毛细管透镜

技术：X射线荧光、X射线衍射、X射线吸收谱、X射线光谱、X射线发射谱、X射线成像、X射线相衬成像、X射线CT、X射线散射、极紫外光刻、EUV、SXR显微成像
13.5nm三维极紫外复制镜

13.5nm三维极紫外复制镜

技术：极紫外光刻、X射线成像、谱学
极紫外碳纳米管（CNT）保护膜

极紫外碳纳米管（CNT）保护膜

技术：极紫外光刻、X射线成像、谱学
13.5nm菲涅尔波带片

13.5nm菲涅尔波带片

技术：极紫外光刻、EUV、SXR相干层析成像、EUV、SXR显微成像、EUV/SXR 光谱
13.5nm 极紫外透、反射测试图案

13.5nm 极紫外透、反射测试图案

技术：X射线成像、谱学、极紫外光刻
13.5nm半透半反分束镜

13.5nm半透半反分束镜

技术：极紫外光刻、X射线成像、谱学
13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜

13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜

技术：极紫外光刻、X射线成像、谱学
13.5nm 极紫外施瓦茨希尔德（Schwarzschild）物镜

13.5nm 极紫外施瓦茨希尔德（Schwarzschild）物镜

技术：暂无

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