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X 射线光学元件
X射线菲涅耳波带片

X射线菲涅耳波带片

技术：X射线光谱、X射线成像、X射线相衬成像、X射线全场显微、X射线扫描显微、X射线光电子能谱
XUV菲涅尔波带片

XUV菲涅尔波带片

技术：EUV/SXR相干衍射成像、EUV/SXR 叠层衍射成像、极紫外光刻、EUV/SXR 散射成像、EUV、SXR相干层析成像、EUV、SXR显微成像、水窗显微成像、EUV/SXR 光谱
消色差X射线菲涅尔波带片

消色差X射线菲涅尔波带片

技术：X射线吸收谱、X射线全场显微、X射线扫描显微
金刚石X射线菲涅尔波带片

金刚石X射线菲涅尔波带片

技术：X射线吸收谱、X射线光谱、X射线成像、X射线全场显微、X射线扫描显微
泽尼克相衬全场X射线显微成像套件

泽尼克相衬全场X射线显微成像套件

技术：X射线成像、X射线相衬成像、X射线全场显微
13.5nm菲涅尔波带片

13.5nm菲涅尔波带片

技术：极紫外光刻、EUV、SXR相干层析成像、EUV、SXR显微成像、EUV/SXR 光谱

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