



X射线菲涅耳波带片
在众多的光学组件中, FZP是为数不多的,可同时用于聚焦和成像用途的光学器件。

产品介绍
在X射线显微成像研究领域中,成像方法和手段被细分为了很多的子类。目前主流的X射线显微成像方法主要有:全场透视显微(TXM)、扫描透视显微(STXM)、相干衍射成像(X-ray CDI)等。一般而言,前端照明光通常采用毛细管、椭球镜、菲涅尔波带片(FZP)、复折射镜(CRL)等聚焦光学组件来获得照明微束,而后端光学器件则根据不同的实验目的来选取,主要有FZP、相移环、光栅等。在众多的光学组件中, FZP是为数不多的,可同时用于聚焦和成像用途的光学器件。对于20-30nm极高空间分辨要求的应用而言,需要FZP的最外环宽度达到20-30nm尺度,同时保证一定的厚度,即对FZP的“深宽比”提出了很高的要求。
得益于在微纳、精密加工方面多年的技术积累,我们目前可以向广大科研用户提供各种规格的FZP产品及定制服务。
特征优势

规格参数
| 参数 | 典型值普通电子光刻技术 | 加工极限普通电子光刻技术 | 典型值Ir-line-doubling技术 | 加工极限Ir-line-doubling技术 |
| ∆Rn [nm] | 50-100 | <10 | 25-50 | <10 |
| D [µm] | 100 - 500 | >4500 | 100 - 250 | >2500 |
| N | 1000-3000 | >30000 | 1000-3000 | >30000 |
| Aspect Ratio | 10 | >30 | 20 | 30 |
加工示例:

25nm最外环宽度、550nm高的Ir 的菲涅尔波带片 世界记录分辨率:7nm

左图和中图是用于数KeV射线的50nm最外环宽度、500nm高吸收材料的电镀金波带片。右图是用于软X射线的25nm最外环环宽度的Ni波带片

200微米直径,200nm有效最外环宽度的三级镍波带片,闪耀结构拥有极高效率

典型应用
X射线全场显微镜
EUV显微镜
X射线扫描显微镜
X射线微光束辐射和同步加速器辐射光束监视等各种X射线应用

品牌介绍
XRnanotech是一家源自瑞士保罗谢勒研究所(Paul Scherrer Institut)超过十余年前沿研究与开发成果的高科技企业,于2020年正式成立,致力于将纳米光学领域的突破性创新推向产业化应用。其中德国Mciroworks公司是XRnanotech的子公司,非常擅长使用LIGA技术,制造高深宽比微纳结构。
公司愿景是赋能全球光学仪器,使其充分发挥性能潜力,突破现有技术边界;使命则专注于开发与制造最高水平的纳米光学器件,在分辨率、效率、稳定性与结构设计等关键指标上实现极致优化。
其产品线包括:极紫外、X射线菲涅耳波带片、X射线相衬光栅、金刚石光学器件、X射线微纳米分辨率测试卡、超透镜和中子光栅等,应用领域涵盖X射线科学研究、材料分析、医学成像等多个前沿方向。凭借独特的 Ir-线倍增技术,XRnanotech 可以制造分辨率可低至<10nm的菲涅耳波带片,并提供各种材料,如金,镍,硅(二氧化硅),铱,铬甚至金刚石。
众星联恒作为瑞士XRnanotech公司中国区的独家代理,为中国用户提供所有售前咨询,销售及售后服务。同时,众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商,目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存,具备快速交付能力,以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室,配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器,可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队,如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨,不要犹豫,请直接联系我们。

