XUV菲涅尔波带片
衬度材料：SiO2 衬度材料厚度：~250nm 支撑薄膜材料：Si 支撑薄膜厚度：~200nm 支撑薄膜透过率：~70% 预计衍射效率>14% @13.5nm 典型应用： 相干衍射成像 极紫外掩模版检测 EUV显微成像 角分辨光电子能谱
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衬度材料：SiO2 衬度材料厚度：~250nm 支撑薄膜材料：Si 支撑薄膜厚度：~200nm 支撑薄膜透过率：~70% 预计衍射效率>14% @13.5nm 典型应用： 相干衍射成像 极紫外掩模版检测 EUV显微成像 角分辨光电子能谱