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XUV/VUV/X 射线光谱仪
maxLIGHT无狭缝平场XUV光谱仪和光束分析仪

maxLIGHT无狭缝平场XUV光谱仪和光束分析仪

技术：EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱、EUV、SXR相干层析成像、Blue-X 光刻、极紫外光刻
easyLIGHT VUV 紧凑型真空紫外光谱仪

easyLIGHT VUV 紧凑型真空紫外光谱仪

技术：谱学
nanoLIGHT 紧凑型XUV透射光栅光谱仪

nanoLIGHT 紧凑型XUV透射光栅光谱仪

技术：EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱、EUV、SXR显微成像、EUV、SXR相干层析成像、EUV/SXR 散射成像、极紫外光刻
easyLIGHT XUV 紧凑型平场极紫外光谱仪

easyLIGHT XUV 紧凑型平场极紫外光谱仪

技术：EUV/SXR相干衍射成像、EUV/SXR 叠层衍射成像、极紫外光刻、Blue-X 光刻、EUV/SXR 散射成像、EUV、SXR相干层析成像、EUV、SXR显微成像、水窗显微成像、EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱
HighLIGHT 高分辨率平场XUV光谱仪

HighLIGHT 高分辨率平场XUV光谱仪

技术：EUV/SXR相干衍射成像、EUV/SXR 叠层衍射成像、极紫外光刻、Blue-X 光刻、EUV/SXR 散射成像、EUV、SXR相干层析成像、EUV、SXR显微成像、水窗显微成像、EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱
monoLIGHT 超环面光栅单色仪

monoLIGHT 超环面光栅单色仪

技术：XUV光电子能谱
hardLIGHT TXS 中能X射线光谱仪

hardLIGHT TXS 中能X射线光谱仪

技术：X射线光谱、X射线发射谱

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