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科研级CCD相机
极紫外、软X射线CCD相机-ALEX-s光谱系列
技术:EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱、中能X射线光谱、极紫外光刻、Blue-X 光刻
极紫外、软X射线内真空CCD相机-LOTTE-i成像系列
技术:EUV/SXR 光谱、水窗显微成像、EUV、SXR显微成像、EUV/SXR 散射成像、EUV、SXR相干层析成像、Blue-X 光刻、极紫外光刻、EUV/SXR 叠层衍射成像、EUV/SXR相干衍射成像、X射线散射、EUV/SXR 吸收谱、中能X射线光谱
极紫外、软X射线CCD相机-ALEX-i 成像系列
技术:中能X射线光谱、EUV/SXR 吸收谱、EUV/SXR 光谱、水窗显微成像、EUV、SXR显微成像、EUV、SXR相干层析成像、EUV/SXR 散射成像、Blue-X 光刻、极紫外光刻
极紫外、软X射线内真空CCD相机-LOTTE-s光谱系列
技术:Blue-X 光刻、极紫外光刻、EUV/SXR 光谱、EUV/SXR 吸收谱、中能X射线光谱
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