产品选型探测器科研级CCD相机极紫外、软X射线内真空CCD相机-LOTTE-s光谱系列

极紫外、软X射线内真空CCD相机-LOTTE-s光谱系列

13.5nm高量子效率,极紫外光刻应用

德国

型号: LOTTE-s 系列
品牌: greateyes

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产品介绍

出身于柏林的LOTTE是德国greateyes公司最新研发,应用于极紫外,真空紫外和X射线能段的光谱及影像内真空相机。


LOTTE集成了目前最前沿的低噪声电子系统和超低温制冷技术,同时保持了紧凑小巧的设计。


全新的设计允许从50 kHz至5 MHz灵活地选择所需读出速度。


18-bit 的模数转换能够利用CCD传感器的全动态范围,以达到更好表现和更高的信噪比。


为匹配不同应用的需求,该相机包括多种类型的传感器可供用户选择。


同时LOTTE的低噪声使之成为极弱信号条件下所需的理想相机,它将给您的光谱学和影像研究带来前所未有的可能性。

特征优势

1密封设计及超高真空兼容性高达 98% 的量子效率
2深度制冷至 -100 °C
318 位动态范围
4kHz - MHz 灵活读出频率设计紧凑

规格参数

量子效率曲线

通用参数

读出频率
50 kHz, 250kHz, 1 MHz, 3 MHz(5 MHz 用于查看模式; 频率可定制)
AD 转换分辨率
18-bit
线性度
优于 99%
CCD 外延层厚度
标准15 μm, 深耗尽类型40 μm
真空馈通法兰
CF DN100法兰,其上配有D-sub接口及6 mm水冷进/出口
真空兼容性
刀口封接法兰: 10-9 mbar (超高真空)
烘烤温度
Max. +80 °C
法兰距
6 mm (法兰距可订制)
CCD传感器制冷
100 ° C to 20 °C (仅支持水冷)
温度监控
于CCD 传感器上,及半导体制冷的热端
数据传输
千兆以太网GigE
软件
greateyes Vision 软件(Windows 7 / 10)
SDK 和驱动
DLL for Windows; LabVIEW, EPICS, Linux, Python以及Tango驱动 (可选)
TTL 接口信号
1 Exposure out, 1 trigger in
供电
80-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)
认证
CE
尺寸
9.0 cm (3.54ʺ) × 9.0 cm (3.54ʺ) × 23.5 cm (9.25ʺ)
重量
5.0kg

补充信息

选择相机型号

LOTTE-i SeriesLOTTE-i 1k1kLOTTE-i 2k2kLOTTE-i 2k2k plusLOTTE-i 4k4k
型号代码FI
BIBI DD
BI UV1
FI BI
BI DD
BI UV1
BIBI
BI DD
BI UV1
有效像素(列 × 行)1024 × 1024 (FI)
1056 × 1027 (others)
2048 × 20522048 × 20644096 × 4112
感光区域13.3 mm × 13.3 mm27.6 mm × 27.6 mm30.7 mm × 30.7 mm61.4 mm × 61.4 mm
像素尺寸13 μm × 13 μm13.5 μm × 13.5 μm15 μm × 15 μm15 μm × 15 μm
CCD传感器制冷-100°C to 20 °C-80°C to 20 °C-80°C to 20 °C-80°C to 20 °C
最大像素阱容100 ke⁻ / 120 ke⁻100 ke⁻ / 150 ke⁻150 ke⁻150 ke⁻ / 350 ke⁻
寄存器/
输出节点阱容
400 ke⁻ / -400 ke⁻/- / 600 ke⁻/-- / 900 ke⁻-/ 900 ke⁻ / -/ 600 ke⁻
读出噪声典型值(e⁻)
@ 50 kHz
@ 1 MHz
@ 3 MHz
3.13.85.45.4 / 3.1
8.39.211.511.5 / 7.4
16.020.626.726.7 / 15.1
暗电流(e⁻/pixel/s)@ -80 °C@ -80 °C@ -80 °C@ -80 °C
0.0003 / 0.0150.0003 / 0.0150.00010.0001 / 0.006
增益(counts/e⁻) 标准模式
高容量模式
110.60.6 / 1
-0.340.20.2 / 0.34
CCD传感器类型前照式(FI), 背照式(BI), 深耗尽条纹抑制(DD), 增强型背照式(BI UV1)
缺陷等级Grade 0 或 grade 1 (标配)

更多详情请见术语表中的Blemish specifications: https://www.greateyes.de/en/glossar.html

选择相机设计


相机标准配件

随相机包含物品
GE-InFl02CF DN100真空馈通法兰,其上配有电子及水冷接口
GE-VacP01一对真空内使用的水管
GE-VacCab一对真空内使用的线缆
GE-VI01greateyes Vision 软件(Windows系统)
GE-SDK01开发包 SDK (基于 C/C++)
GE-GigE10m10m 以太网线
GE-StoB2m两条2米 SMB - BNC 连接线
GE-POW01相机电源及相应线缆
GE-ManCam相机使用手册

可选配件与软件

预定代码描述
A) 影像类配件
GE-SR3535mm 快门, 包括快门驱动模块
B) 制冷系统配件(注:LOTTE系列只支持水冷, 无风冷)
GE-CR01紧凑型循环水冷, 工作于室温, 用于相机深度制冷
GE-CR02循环水冷机, PID 控制, 水温5℃至30℃, 用于相机超级深度制冷
GE-VacP01一对内真空使用的可造型波纹水管,带VCR接口, 305 mm(随相机标配)
GE-VacP02一对内真空使用的可造型波纹水管,带VCR接口, 1200 mm(非标配)
C) 软件开发包(SDK)和驱动
GE-LX01基于C/C++的Linux 开发包
GE-PYT01Python 驱动
GE-LAB01LabVIEW 驱动
GE-EPEPICS 驱动
GE-TANTango 驱动

典型应用

  • 极紫外光刻

  • 软 X 射线光谱

  • 等离子体发射光谱

  • 高次谐波(HHG)光谱

  • X 射线近边吸收精细结构光谱

  • 共振非弹性 X 射线散射


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