

射频辉光放电质谱仪GD90 Trace-RF
MSI GD90 Trace 是一款面向高纯材料、先进材料及痕量杂质分析的高分辨辉光放电质谱仪(GDMS)。通过辉光放电直接对固体样品进行溅射、原子化和电离,并结合高分辨双聚焦磁质谱分析,GD90 Trace 能够在一次扫描中覆盖从主量成分到 ppb / sub-ppb 级超痕量杂质的多元素分析。无需常规化学消解,既适用于高纯金属、合金和半导体材料,也可扩展至粉末、氧化物、薄膜、镀层及多层材料分析。
型号: GD90 Trace-RF
品牌: MSI

产品介绍
MSI GD90 Trace RF是基于 GD90 Trace 高分辨双聚焦磁质谱平台, 并进一步集成自动化 RF 辉光放电系统的高分辨辉光放电质谱仪。 系统同时提供DC 与 RF 两种辉光放电模式, 将成熟的高纯金属分析能力进一步拓展至更加广泛的先进材料应用。
GD90 Trace RF 保留 GD90 Trace 高分辨、宽动态范围、 直接固体进样及深度分析等核心质谱性能, 同时针对非导电材料提供更加灵活的辉光放电选择。 用户可根据材料导电性、样品状态及具体分析目标, 在 DC 与 RF 工作方式之间选择适合的分析方案。
仪器可在一次分析中覆盖从主量成分到 ppm、ppb 乃至 sub-ppb 级超痕量元素, 适用于高纯材料、金属及合金、氧化物、先进无机材料、 半导体相关材料、薄膜、镀层及多层复合材料等应用场景。
为什么需要 RF-GDMS?
传统 DC 辉光放电要求分析体系形成适当的直流放电条件, 因此高纯金属、合金等导电材料是 DC-GDMS 最典型的分析对象。
对于氧化物等非导电材料, 传统 DC-GDMS 可以通过将样品安装或压制在高纯导电辅助载体上的方式完成分析。 这种方法成熟且仍然具有实际应用价值。
随着先进材料体系不断扩展, RF 辉光放电为非导电材料提供了另一种放电方案。 GD90 Trace RF 将自动化 RF 系统集成到 GD90 Trace 平台, 同时保留 DC 工作模式, 从而使一台仪器能够面向更加多样化的材料体系。
高分辨 GDMS 直接固体分析
辉光放电质谱GDMS(Glow Discharge Mass Spectrometry)利用辉光放电对固体样品进行连续溅射, 被溅射出的原子进入等离子体后发生电离, 随后进入高分辨双聚焦质量分析系统进行分离和检测。
与传统湿法消解方式相比, GDMS 直接分析固体样品, 可以减少复杂化学前处理以及由试剂、容器和样品稀释造成的潜在污染。 同时,由于原子化与电离过程相对独立, GDMS 基体效应较小, 可结合标准 RSF 数据进行多元素定量分析。
核心分析能力
更广泛的材料适应能力
GD90 Trace RF 尤其适合实验室样品类型跨度较大、 同时存在导电和非导电材料分析需求的应用环境。
从元素含量进一步获得深度分布
高分辨质谱平台 + 灵活辉光放电
典型应用
主要技术参数
| 产品型号 | GD90 Trace RF |
| 分析技术 | 高分辨辉光放电质谱 HR-GDMS |
| 质量分析器 | 双聚焦磁扇形质量分析器 |
| 辉光放电模式 | DC + RF |
| 样品引入 | 直接固体分析 |
| 质量分辨率 | <400 ~ >10,000 RP,连续可调 |
| 分辨率定义 | 10% Valley Definition |
| 分析浓度范围 | 主量元素至 ppb / sub-ppb 超痕量元素 |
| 检测系统 | Ion Counter + Faraday |
| 线性动态范围 | 最高约 12 个数量级 |
| 导电材料 | 支持 DC 分析 |
| 非导电材料 | 支持相应 DC 制样方案及 RF 分析方案 |
| 样品结构 | Pin / Flat 等多种样品结构 |
| 深度分析 | Time Resolved / Depth Dependent Analysis |
| 定量方式 | 支持基于 RSF 的定量分析 |
| GD Cell 冷却 | 可配置低温冷却 |

关于 MSI
Mass Spectrometry Instruments Ltd(MSI)是一家位于英国西约克郡的专业质谱仪器制造商, 长期专注于高性能磁扇形双聚焦质谱仪的设计、制造、应用与技术支持, 产品技术覆盖有机及无机分析领域。
MSI 的高分辨质谱技术体系传承自Kratos Analytical。 Kratos 于 1957 年开始推出商业化磁扇形质谱仪, 在高精度、高分辨磁质谱及离子光学领域积累了长期技术基础。 MSI 于 1994 年成立,并在这一技术体系基础上持续发展现代高分辨双聚焦质谱平台。
2010 年,MSI 将其高分辨磁质谱技术进一步拓展至无机元素分析领域, 开发辉光放电质谱GDMS(Glow Discharge Mass Spectrometry)系统。 如今,高分辨 GDMS 已成为 MSI 的核心技术方向之一, GD90 Trace 则是其面向直接固体元素分析、痕量及超痕量杂质分析的重要产品平台。
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