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众星联恒

用于CT几何校准和性能评估的高分辨率测试靶


紧凑型可旋转分辨率测试靶旨在实际扫描条件下评估高分辨率X射线CT系统的成像性能。其紧凑且兼容CT的结构设计，使其能够靠近射线源放置，从而实现对精细参考结构的旋转成像。该测试靶具有正交的5对-线/空间阵列图案，特征尺寸从0.7 µm至7 µm，能够直观地评估两个方向上的空间分辨率。它非常适合用于分辨率验证、扫描参数优化、系统性能比对以及常规质量控制。


最先进的设计：

  • 高分辨率：关键尺寸=7-0.7 μm
  • 高对比度：金结构高度  >4 μm
  • 紧凑型几何结构：工作距离  >0.75 mm








分辨率测试靶附带经认证的计量检测报告。采用高分辨率扫描电子显微镜（SEM）进行检测。



规格

描述

芯片

设计

正交密集线/空间阵列图

对比度材料及厚度

金 (H > 4 µm)

线宽/线空间

0.7,   0.8, 0.9, 1.0, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0 µm

关键尺寸公差

±10%

基底

Si  (1.4 mm×3 mm×0.25 mm)

芯片支架

材料

PEEK

尺寸

D1.5mm× H40mm

支杆

材料

不锈钢

尺寸

D3mm× H80mm

该测试靶采用先进的微纳加工工艺制造，其结构尺寸极其精确且高度可重复，并已通过扫描电子显微镜（SEM）检测验证。众星联恒的合作伙伴XRnanotech是瑞士领先的高精度X射线光学器件、microCT和nanoCT测试靶以及定制纳米结构制造商。我们将前沿的纳米加工技术与在X射线成像领域积累的深厚专业知识相结合，致力于帮助客户不断突破分辨率、精密计量和分析性能的极限。




北京众星联恒科技有限公司至今在X射线与极紫外领域已经有近十年的深耕积累，是一家专业的极紫外、X射线核心部件及解决方案提供商。为了更好地服务用户，我们已建立X射线现货库（含XRN显微CT分辨率测试卡（0.1-50μm）等）和分析实验室。我们的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。


我们是一支对极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要交流、探讨，不要犹豫请直接联系我们。


内容：XRN&Simon&Jay

审核：凯文

编辑：凯文





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