会议预告 | PTB-Seminar on VUV and EUV Metrology 2025

会议介绍

由德国联邦物理技术研究院（PTB）主办的2025年真空紫外与极紫外计量研讨会（PTB-Seminar on VUV and EUV Metrology 2025） 将于2025年10月14日至15日在德国柏林PTB柏林分校区的赫尔曼-冯-亥姆霍兹大楼报告厅隆重举行。

本届会议将涵盖多个前沿主题，包括极紫外光刻与测量技术的工业应用、天基VUV与EUV光谱学的最新进展，以及纳米结构表面的研究等。紧随本次研讨会之后，PTB还将于2025年10月16日至17日举办"Quantification of Uncertainties in Nano-Metrology" (QUNOM) 研讨会，为参会者提供更多深入交流的机会。

optiX fab. 特邀报告

2025年10月15日，来自optiX fab.的Marcus Trost博士将带来题为Observing the sun at short wavelengths – Optical coatings for the solar telescopes MUSE and EUVST 的邀请报告，分享optiX fab.在MUSE 与 EUVST项目中的最新研究成果。

天体光谱学是探测天体物理和化学性质不可或缺的工具。与观测分子振动和旋转的红外光谱、以及观测特征气体吸收线的可见光谱相比，能量更高的极紫外（EUV）光谱能够探测到高度电离原子的发射线。这对于太阳观测而言至关重要，因为这些高度电离态只有在极高的温度下才会产生，使得EUV光谱学成为测量数百万开尔文高温的完美"温度计"。

Trost博士的报告将聚焦于计划分别于2027年和2029年发射的两台太阳望远镜：MUSE 与 EUVST。这两项太阳探测任务的科学目标，旨在深入理解驱动太阳炽热大气加热的物理过程，以及涉及耀斑和日冕物质抛射等空间天气事件的物理机制，这些事件对现代基础设施（如卫星、电网、GPS精度等）有着直接影响。

尽管两颗卫星将共享部分光谱信息，但它们的技术路径不同且高度互补。这导致了对镜子和光栅光学涂层的根本性不同要求。

• EUVST 被设计为一种单狭缝光谱仪，覆盖非常宽广的发射线温度范围，这需要宽带非周期性EUV多层膜设计。

• MUSE 则是一种多狭缝光谱仪，具有大视场和仅12秒的高时间分辨率，旨在首次完整捕获光谱仪狭缝下大规模日冕事件的快速时空演化。这需要多通道、极窄带涂层以避免光谱串扰。

报告中将透露，optiX fab.已于今年成功为这两台太阳望远镜的飞行硬件完成了光学涂层的制备工作。除了极具挑战性的光谱反射率要求，Trost博士还将阐述为满足望远镜轻量化基底结构并支持其革命性成像目标，而在机械特性和涂层应力属性方面所进行的定制化设计与实现。

本次会议得到了行业内领先企业的支持。我们的重要合作伙伴optiX fab.、XRnanotech和greateyes将作为本次会议的赞助商，参与此次行业盛会。

德国optiX fab.成立于2012年，致力于设计，开发和制造各类多层膜镜。optiX fab.已经为全球高端制造商以及研究所、大学、同步辐射客户提供定制的用于XUV/软硬X光光谱范围内的多层膜和掠入射光学器件。

XRnanotech是瑞士知名的Paul Scherrer Institute研究所10多年研发的结晶，于2020年成立，旨在将最新的突破性X射线光学创新引入市场。瑞士XRnanotech 专注于研究纳米结构，开发和制造最具创新性的X射线光学器件，以实现最高分辨率、效率、稳定性和设计质量。产品线包括：菲涅耳波带片、纳米级光栅、金刚石光学器件、纳米分辨率测试卡、3D分辨率测试卡等。

greateyes 成立于2008年，以德国柏林洪堡大学的技术为基础，迅速发展成为国际知名的先进探测器生产 企业。如今，其科研与工业客户群体己遍布多个国家。greateyes开发、生产并销售高性能科学级CCD/CMOS相机。其作为精确探测器，广泛应用于成像与谱学应用领域。

北京众星联恒科技有限公司作为optiX fab.、XRnanotech和greateyes公司中国区的独家合作伙伴，为中国客户提供所有产品的售前咨询，销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的EUV、X射线产品及解决方案。

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