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世界或许会分化，但科学的光永不熄灭




尽管全球科技格局面临诸多不确定性，未来的世界也许是割裂的，但是尖端技术的火种、及人类对于未知奇妙世界秩序的探索始终会在文明长河中奔涌不息。 X 射线与极紫外（EUV）技术作为突破物理极限的关键领域，正在推动基础科学、半导体、精密检测等行业的深刻变革。

作为深耕极紫外（EUV）及X射线核心部件领域的技术服务商和解决方案的探索者，众星联恒始终以"技术瞭望者"的视角，捕捉全球最新的行业资讯和技术前沿动态。

相关前情回顾

在2025年的《xLight与美国商务部签署1.5亿美元的意向书-众星联恒EUV&X射线行业洞察》中我们报道了 德国米特韦达应用科技大学激光研究所将建成一套全新的极紫外（EUV）纳米结构分析成像系统，装置是基于高次谐波（HHG）的无透镜成像技术，以数字方式重建纳米结构——无需任何昂贵的光学元件。这不仅节省了大量成本，还开辟了更强大、更先进的成像方法。与此同时Silvio Fuch教授还是在开发XUV 相干层析成像技术，与单色无透镜成像技术相比，该方法通过将光学相干层析成像（OCT）扩展到XUV和软x射线区域，从而利用宽带辐射，因此缩写为极紫外相干层析成像（XCT）。此方法用于纳米结构的横截面成像，提供纳米级轴向分辨率。该技术展示出用于半导体硅基纳米的结构或光刻掩模无损检测的巨大潜力。

图1 XUV相干层析成像装置示意图


最新研究进展1

近日荷兰纳米光刻高级研究中心（ARCNL）的”高谐波产生与EUV科学研究”团队（Peter Kraus团队领导）在Nature communication杂志通过在线有限出版的方式发表了一篇名为《Broadband extreme ultraviolet zeroth order scatterometry for nanostructure metrology》的文章（doi.org/ 10.1038/s41467-026-73052-w）。


为了满足纳米制造中关键尺寸的持续缩小，对纳米计量技术应具备更高且相应的分辨率的需求，研究团队提出了基于桌面级高次谐波产生（HHG）的宽带照明极紫外（EUV）散射测量方法。该方法利用极紫外光的光谱分辨零级衍射（0th diffraction order），虽然缺乏空间编码信息，但携带了有价值的光谱信息，并且具有高衍射效率。通过使用相对反射率，无需进行绝对标定。严格耦合波分析（Rigorous Coupled-Wave Analysis, RCWA）模拟支持了基于库的重建方法，实现了沟槽高度的数纳米级精度，以及关键尺寸（CD）约 10 纳米的精度。展示了宽带极紫外高次谐波产生零级衍射散射测量（broadband EUV HHG 0th-order scatterometry），能够实现快速、可靠且非破坏性的计量，适用于波长级特征的结构，为低于衍射极限的细节提供了高灵敏度和高精度的测量能力。

图2

a) 宽带极紫外零阶散射测量实验装置的示意图。

b) 数据采集流程的可视化，其中黄色标记表示 XUV 光束在样品上的位置。

c) 平面衍射示意图，显示周期方向（绿色箭头）和光束投影传播方向（紫色箭头）。

d) 锥面衍射示意图，显示周期方向（绿色箭头）和光束投影传播方向（紫色箭头）。在 c) 和 d) 中均标出了方位角 φ，定义为两对箭头之间形成的角度

Soft X-ray Scatterometry商业化进展2

Invisix 成立于2025年，是一家位于荷兰埃因霍温的深度科技初创企业，致力于为半导体行业开发下一代软 X 射线计量系统。该公司的使命是：照亮最复杂、最先进的逻辑和存储设备的详细三维几何结构，助力芯片制造商在大规模生产中突破可见光的限制。目前该公司已获得三星的风险投资。

图3 软 X 射线散射测量实验装置的示意图


Invisix的联合创始人Christina Porter和Sietse van der Post在软x射线测量方面拥有深厚的专业知识。两人都有物理学博士学位，在这项技术上有十多年的工作经验。现任首席执行官（CEO）Christina 曾在 ASML 工作 7 年，负责软 X 射线（SXR）项目的领导工作以及相关技术路线的探索与规划。Sietse是Invisix的首席技术官，作为ASML的SXR研究首席架构师，他塑造了这个领域。他们共同拥有超过25项专利，并因其对下一代测量系统的贡献而被引用超过1400次。

参考信息：

1. https://www.nature.com/articles/s41467-026-73052-w

2. https://invisix.nl/

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众星联恒


众星联恒——前沿EUV-X射线领域解决方案提供商。


我们是一支对于极紫外、X射线及新兴技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，欢迎随时与我们联系。


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同时我们不仅仅是引进设备，我还非常看重对于行业的深度洞察、工程集成需求支持与持续的本地化快速服务。因此，我们建立一个专业性技术和市场团队，及极紫外、X射线现货库（已实现快速交付）；为了解决常见的仪器宣传性能与实际性能有差距的问题，用户痛点与仪器设备之间的联系问题，我们建立极紫外、X射线分析实验室，其中配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。


不仅要买对，还要用好。因为每一台极紫外、X 射线相关高端设备都是科研与生产的核心资产，其价值不仅在于硬件本身的精密性能，更在于依托专业的全生命周期技术支持，让这份资产持续创造价值。而日常预防性维护保养，正是保障高精度科研仪器实验稳定性、延长设备使用寿命的关键举措，更是极具价值的科研投资。所以我们还提供仪器保养、维护等服务，如：四镜光学浮区炉搬家记|所有准备，都是为了更好地为用户服务和科研级深度制冷极紫外、X射线CCD 相机传感器清洗：高风险任务的完美交付 。


世界或许喧嚣，但科学的脚步永远向前。



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审核：凯文

编辑：Sylvia


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