聚焦性能可保证的定制化超环面、椭球和抛物XUV反射镜

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XUV掠入射反射镜效果图

掠入射反射镜的通常的入射角会大于70度，它可用于高能X射线和宽带XUV光源（<100nm-150nm）的转向和聚焦。我们可以提供长常规的平面，球面单层膜XUV掠入射反射镜。同时我们还可以提供聚焦性能可以保证的定制化超环面、椭球和抛物反射镜和反射镜以用于阿秒光谱成像、PTY成像以及其他XUV应用。另外我们可以提供掠入射多层膜反射镜以用于X射线单色仪。

XUV掠入射聚焦镜几何构型

通常，对于我们客户来说，反射镜能在像平面上形成多小的光斑是非常重要的（见上图）。即使使用S'为无穷大（反射后的准直光束）的设计，该参数也可以让您估计输出光束的质量。像面上的光斑大小受球面像差、镜面形状制造的精度以及工作波长处的衍射限制等因素的影响。一般的原理是，光斑尺寸越接近衍射极限，反射镜就越贵。

在获取你的实验室布局及聚焦要求后我们可以提供免费的ZEMAX模拟服务，并给你推荐不同面型、面型精度和成本的聚焦方案，如下图。

为保证最终的聚焦质量，我们还会在设计的臂长和入射角下测量镜子的聚焦性能，如下图。

典型非球面镜的用途及优劣势

▪ 材料：Fused Silica, Low Expansion Glass

▪ 常用面型：抛物面，椭球面, 超环面, 柱面, 

  平面，球面

▪ 粗糙度：<0.3nm rms

▪ 面型精度：λ/5-λ/300(取决于面型和非球度)

▪ 最大尺寸:  Flat: 500 mm ；Curved: 100-250

  mm(取决于面型和非球度)

▪ 曲率公差：高达±0.05%

北京众星联恒科技有限公司作为一家专业的极紫外、X射线核心部件及解决方案提供商。目前我们已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好的服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。

我们是一支对极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要交流、探讨，不要犹豫请直接联系我们。