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X射线衍射高分辨X射线衍射X射线荧光X射线吸收谱X射线光谱X射线发射谱X射线成像X射线相衬成像X射线暗场成像X射线CTX射线能谱成像X射线全场显微X射线扫描显微X射线光电子能谱X射线散射EUV/SXR相干衍射成像EUV/SXR 叠层衍射成像极紫外光刻Blue-X 光刻EUV/SXR 散射成像EUV、SXR相干层析成像EUV、SXR显微成像水窗显微成像EUV/SXR 光谱EUV/SXR 吸收谱XUV光电子能谱中能X射线光谱粒子追迹电子探测器（4DSTEM，MciroED，EBSD等）伽马探测中子调制及探测高能物理教育拉曼光谱近红外光谱荧光光谱透反吸光谱活体荧光生物成像天文学激光诱导击穿光谱中子、X射线CT超冷量子研究电\光致发光成像

EUV/XUV/SXR 光学元件

13.5nm 极紫外光源多层膜收集镜

技术：极紫外光刻、X射线成像、谱学

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