真空紫外分光光度计 ultraLYZE VUV
ultraLYZE VUV 是一款高性能真空紫外（VUV）光谱测量系统，集透射与反射测量于一体，专为115–350 nm深紫外波段精密分析设计。
型号: ultraLYZE VUV
产品介绍
探索物质深紫外响应的终极工具——从基础研究到产线质检，ultraLYZE VUV定义VUV光谱新标准。
ultraLYZE VUV 是一款高性能真空紫外（VUV）光谱测量系统，集透射与反射测量于一体，专为115–350 nm深紫外波段精密分析设计。采用全自动操作模式（turn-key），支持高真空（<10⁻⁶ mbar）或氮气吹扫环境，满足材料在极端条件下的光学特性表征需求，精度稳定优于0.3%，为科研与工业提供可靠数据支撑。
为何选择 ultraLYZE VUV？
特征优势
1全波段覆盖 - 115 nm起测，突破常规紫外限制，直达深紫外临界波段
2工业级精度 - 双光路校准技术实现<0.3%超稳重复性，适用于质检场景
3环境适应性 - 高真空/惰性气体双模式，应对VUV苛刻测量条件
4模块化未来 - 按需升级偏振、微区、自动化功能，保护设备投资价值
规格参数
| 模块 | 技术优势 |
| VUV光源 | 氘灯光源，实现115-350 nm连续波长发射 |
| VUV单色器 | Seya-Namioka型光栅单色器，旋转光栅实现波长选择，针对100-300 nm波长具有非常高的衍射效率 |
| 双光路探测系统 | 角度可调PMT探测器 + 参考光路实时校准，确保R/T测量精度<0.3% |
| 环境控制系统 | 高真空（<10⁻⁶ mbar）或氮气吹扫可选，消除氧气对VUV波长吸收及样品的表面污染 |
| 模块化扩展 | 偏振器：支持S/P偏振测量测量光束聚焦：微区分析和样品mapping样品传递系统：多样品切换 |
通用参数
参数
指标
波长范围
115–350 nm
测量模式
透射（T）、反射（R）
测量精度
R/T < 0.3%
波长分辨率
优于0.1 nm
真空环境
<10⁻⁶ mbar 或 N₂吹扫
探测器
角度可调PMT（含参考光路）
可扩展模块
偏振器、聚焦光学、样品传递系统
典型应用领域
- 先进光学材料VUV抗反射膜、氟化镁（MgF₂）/氟化钙（CaF₂）透镜/窗片的透射率与反射损耗分析。
- 半导体光刻技术光刻胶在DUV/VUV波段的吸收特性与均匀性评估（支持193 nm/157 nm关键波长）。
- 空间科学与天文探测空间望远镜镜面涂层在Lyman-α（121 nm）等波段的反射性能验证。
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