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西门子星测试卡-3D

3D西门子星测试卡是专为微纳CT和基于同步辐射的PTY成像系统设计,以用于全面的评估系统各个方向的分辨率。同时我们可以在该结构上通过ALD技术沉积金属Ir,以获得更小的细节和吸收衬度。

通用参数

最小细节(nm)
<200nm
直径(µm)
100
结构高度(µm)
200
总体高度(µm)
250
衬底
1mm*1mm硅片
图案
基于C(14)H(18)O(7)打印的3D西门子星

资料文献

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01
暂无封面
Amey Luktuke, Yi Jiang, Junjing Deng, Barry Lai, Joseph McCourt, Soenke Seifert, Byeongdu Lee, Volker RoseOptics Express2026-06-01

X 射线叠层衍射成像通常依赖单层重建方法,该方法假设光束在样品中的传播效应可忽略。然而,对于厚样品或使用高数值孔径光学元件时,这一近似不再成立,多重散射会导致重建伪影。多层叠层衍射层析成像(MSPT)通过显式建模光束在样品中的传播来解决这一局限,同时降低层析成像的角度采样要求,但其性能高度依赖于重建参数和实验条件。本文通过数值模拟和实验 X 射线数据(其中使用了我们提供的3维西门子星测试卡作为测试样品)集系统评估 MSPT,以理解样品厚度、光学参数和初始化策略等因素如何影响重建精度。我们证明,基于先验信息的物体初始化可显著提高深度分辨率并实现准确的投影延展,从而降低层析重建的角度采样要求。实验验证证实,MSPT 能够生成伪影减少的重建结果,使其成为现代同步辐射设施中纳米尺度成像的稳健方法。

X 射线叠层衍射成像多层叠层衍射层析成像多重散射深度分辨率角度采样同步辐射
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