紧凑型可旋转X射线分辨率靶
用于CT几何校准和性能评估的高分辨率测试靶.
产品介绍
紧凑型可旋转分辨率测试靶旨在实际扫描条件下评估高分辨率X射线CT系统的成像性能。其紧凑且兼容CT的结构设计， 使其能够靠近射线源放置， 从而实现对精细参考结构的旋转成像。
该测试靶具有正交的5对-线/空间阵列图案，特征尺寸从0.7 µm至7 µm，能够直观地评估两个方向上的空间分辨率。它非常适合用于分辨率验证、扫描参数优化、系统性能比对以及常规质量控制。
该测试靶采用先进的微纳加工工艺制造， 其结构尺寸极其精确且高度可重复， 并已通过扫描电子显微镜（SEM）检测验证。
众星联恒的合作伙伴XRnanotech是瑞士领先的高精度X射线光学器件、 microCT 和 nanoCT 测试靶以及定制纳米结构制造商。我们将前沿的纳米加工技术与在X射线成像领域积累的深厚专业知识相结合， 致力于帮助客户不断突破分辨率、精密计量和分析性能的极限。
实测SEM图及设计布局图
规格参数
规格 | 描述 | |
芯片 | 设计 | 正交密集线/空间阵列图 |
对比度材料及厚度 | 金 (H > 4 µm) | |
线宽/线空间 | 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0 µm | |
关键尺寸公差 | ±10% | |
基底 | Si (1.4 mm×3 mm×0.25 mm) | |
芯片支架 | 材料 | PEEK |
尺寸 | D 1.5 mm× H 40 mm | |
支杆 | 材料 | 不锈钢 |
尺寸 | D 3 mm× H 80 mm |
品牌介绍
XRnanotech是一家源自瑞士保罗谢勒研究所（Paul Scherrer Institut）超过十余年前沿研究与开发成果的高科技企业，于2020年正式成立，致力于将纳米光学领域的突破性创新推向产业化应用。其中德国Mciroworks公司是XRnanotech的子公司，非常擅长使用LIGA技术，制造高深宽比微纳结构。
公司愿景是赋能全球光学仪器，使其充分发挥性能潜力，突破现有技术边界；使命则专注于开发与制造最高水平的纳米光学器件，在分辨率、效率、稳定性与结构设计等关键指标上实现极致优化。
其产品线包括：极紫外、X射线菲涅耳波带片、X射线相衬光栅、金刚石光学器件、X射线微纳米分辨率测试卡、超透镜和中子光栅等，应用领域涵盖X射线科学研究、材料分析、医学成像等多个前沿方向。凭借独特的 Ir-线倍增技术，XRnanotech 可以制造分辨率可低至<10nm的菲涅耳波带片，并提供各种材料，如金，镍，硅（二氧化硅），铱，铬甚至金刚石。
众星联恒作为瑞士XRnanotech公司中国区的独家代理，为中国用户提供所有售前咨询，销售及售后服务。同时，众星联恒作为一家前沿EUV-X射线领域服务及解决方案提供商，目前已储备一定规模的EUV与X射线相关设备与核心部件库存，具备快速交付能力，以更好地服务我们的用户。同时我们创建了设施完善的X射线开放实验室，配备了多套先进的X射线光源系统、光学元件以及探测器，可支持包括X射线成像、相衬成像、衍射分析、荧光检测以及X射线源性能表征在内的多样化的测试、预研和论证工作。
我们是一支对于极紫外、X射线技术充满热情的团队，如果你有任何疑问想要和我们交流、探讨，不要犹豫，请直接联系我们。
