型号: SpotLight-P
品牌: 艾格斯瑞

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SpotLight-P 多毛细管微焦点X射线光源结合了低功率x射线源和多毛细管X光透镜，可提供高通量的X射线光束，广泛应用于先进的材料分析。SpotLight-P 可提供几种标准聚焦、微聚焦或准直光束配置，也可以针对特定应用进行定制。

典型应用

掠入射小角散射（GISAXS）
单晶/粉末X射线衍射、劳埃衍射(SC-XRD、XRPD、Laue Diffraction)
二维、三维、共聚焦微区X射线荧光（μ-XRF）
X射线激发发光（XEOL）

半导体解决方案应用场景

薄膜堆栈的金属层结构测量
UBM/RDL层厚和组分监测
埃米水平的超薄层测量
Bump球的高度测量
基于TXRF的硅晶圆表面沾污测量
基于XRR的膜厚测量
外延材料晶格结构及膜厚分析
芯片和电路板失效分析
芯片和电路板制程监控

特征优势

1高性能光学整形组件：可输出高品质X射线光束

2聚焦输出：最小可达8μm的输出焦点尺寸

3准直输出：低至0.2°的输出发散角

4灵活的输出光束选项：聚焦、准直、微聚焦三类选择

5X射线管耦合多毛细管可产生兼具高亮度和小焦点尺寸的线束

6水冷散热，提高光管的安全性

7内置X射线管的自动暖机/训机程序

8内置目标功率的自动缓升缓降曲线

9内置自动化安全关机功能

10内置自检程序，确保设备的可靠性和操作的安全性

11内置提高可靠性的故障报警和安全回路

聚焦型光源典型参数

工作距离（mm）		10	60	100	150	200
Cu靶	聚焦光斑尺寸（μm, FWHM, Cu-Kα）	50	250	300	450	500
Cu靶	输出通量*（Cu-Kα, phs/s）	>1.1E9	>5.4E9	＞8.4E9	5.3E9	6.9E9
Mo靶	聚焦光斑尺寸（μm, FWHM, Mo-Kα）	30	110	215	350	420
Mo靶	输出通量*（Mo-Kα, phs/s）	>2.7E7	>6.7E7	＞6.8E7	>7.6E7	>8.3E7
Ag靶	聚焦光斑尺寸（μm, FWHM, Ag-Kα）	35	125	195	300	360
Ag靶	输出通量*（Ag-Kα, phs/s）	>1.2E7	>3E7	＞5E7	>4.9E7	>5E7
W靶	聚焦光斑尺寸（μm, FWHM, W-Lα）	55	205	290	390	450
W靶	输出通量*（W-Lα, phs/s）	>7E8	>3E9	>4.8E9	>5.4E9	>6E9

准直型光源典型参数

靶材	输出光束直径（mm）	4mm	6mm	10mm
Cu靶	输出通量*（Cu-Kα, phs/s）	>2.3E9	>4.8E9	>8.5E9
Mo靶	输出通量*（Mo-Kα, phs/s）	>6.6E6	>4.7E7	>6.2E7
Ag靶	输出通量*（Ag-Kα, phs/s）	>2.8E7	>6E7	>1E8
W靶	输出通量*（W-Lα, phs/s）	>1.8E9	>5E9	>8.3E9

原位透射衍射案例


LiFePO4正极锂电池充放电过程中的原位衍射（测量时长：300分钟）	NbS2正极钠电池充放电过程中的原位衍射（测量时长：500分钟）	NaVO正极锌电池充放电过程中的原位衍射（测量时长：460分钟）

项目

指标

最高管电压

≤50KV

最高管电流

≤1mA

可选靶材

Cu/Mo/Rh/Ag/W（其它靶材可讨论定制）

冷却方式

风冷+水冷

光管尺寸（含毛细管调节装置）

261mmx 186mmx 110mm

重量（含毛细管和调节装置）

10kg

艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模拟体系为基础，专注于研发、设计、制造X射线核心器件及部件，致力于为工业及科研客户提供高效、可靠、先进的成套解决方案。

主要产品包括微焦点X射线光源、X射线核心器件、X射线探测器、X射线仿真模拟软件，广泛应用于多种材料分析表征和基础研究场景，如新能源材料及器件表征、半导体制程检测、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研发、等离子体诊断等。

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SpotLight-P 微焦点X射线光源

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